[发明专利]汽化器和成膜装置

权利要求书

1.一种汽化器，其特征在于，包括：

以规定压力供给液态原料的原料液室；

配置成从所述原料液室突出，用于吐出所述原料液室内的液态原料的多个原料吐出喷嘴；

设置成包围所述各原料吐出喷嘴的吐出口，用于喷出运载气体的运载气体喷出口；

使从所述多个吐出口吐出的所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化室；和

使所述原料液室的内部空间的容积周期性地发生变化，向所述液态原料施加吐出压力的加压单元。

2.如权利要求1所述的汽化器，其特征在于：

所述各吐出口的直径根据向所述汽化室内吐出的所述液态原料的液滴的目标尺寸进行设定。

3.如权利要求2所述的汽化器，其特征在于：

所述各吐出口的直径为20μm以下。

4.如权利要求1所述的汽化器，其特征在于：

所述各吐出口被配置成，使得所述液态原料的吐出方向相互平行，并且所述各吐出口在与所述液态原料的吐出方向正交的平面方向上具有展宽。

5.如权利要求4所述的汽化器，其特征在于：

配置有所述各吐出口的区域根据所述汽化室的所述平面方向的宽度进行设定。

6.如权利要求1所述的汽化器，其特征在于：

所述运载气体喷出口的个数设置成与所述吐出口的个数相同，

所述运载气体喷出口的直径比所述吐出口的直径大，所述各吐出口被分别配置在所述各运载气体喷出口内。

7.如权利要求1所述的汽化器，其特征在于：

所述运载气体喷出口的个数设置成比所述吐出口的个数多，且在所述各吐出口的周围分别配置有多个所述运载气体喷出口。

8.一种汽化器，其特征在于包括：

以规定压力供给液态原料的原料液室；

配置成从所述原料液室突出，用于吐出所述原料液室内的液态原料的多个原料吐出喷嘴；

设置成包围所述各原料吐出喷嘴的吐出口，用于喷出运载气体的运载气体喷出口；

使从所述多个吐出口吐出的所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化室；

构成划分所述原料液室的壁的一部分的可挠性部件；和

使所述可挠性部件振动，向所述原料液室内的所述液态原料施加周期性的吐出压力的振动单元。

9.如权利要求8所述的汽化器，其特征在于：

所述的振动单元由压电元件构成。

10.如权利要求8所述的汽化器，其特征在于：

所述振动单元的振幅根据所述多个原料吐出喷嘴的个数和向所述汽化室内吐出的所述液态原料的液滴的目标尺寸进行设定。

11.如权利要求8所述的汽化器，其特征在于：

所述振动单元的振动周期根据每单位时间向所述汽化室内吐出的所述液态原料的液滴的目标数进行设定。

12.一种汽化器，其特征在于，包括：

以规定压力供给液态原料的原料液室；

配置成从所述原料液室突出，用于吐出所述原料液室内的液态原料的多个原料吐出喷嘴；

设置成包围所述各原料吐出喷嘴的吐出口，用于喷出运载气体的运载气体喷出口；

使从所述多个吐出口吐出的所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化室；

使所述原料液室的内部空间的容积周期性地发生变化，向所述液态原料施加吐出压力的加压单元；和

从所述汽化室导出原料气体的导出口，其中，

所述汽化室具有将从所述各吐出口吐出的所述液态原料的液滴向所述导出口的方向引导的多个引导孔，

所述各引导孔的入口与所述各吐出口对置。

13.一种成膜装置，其包括：供给液态原料的原料供给系统；使所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化器；和导入从所述汽化器供给的所述原料气体并对被处理基板进行成膜处理的成膜室，其特征在于：

所述汽化器包括：以规定压力供给液态原料的原料液室；配置成从所述原料液室突出，用于吐出所述原料液室内的液态原料的多个原料吐出喷嘴；设置成包围所述各原料吐出喷嘴的吐出口，用于喷出运载气体的运载气体喷出口；使从所述多个吐出口吐出的所述液态原料汽化而生成原料气体的汽化室；和使所述原料液室的内部空间的容积周期性地发生变化，向所述液态原料施加吐出压力的加压单元。