[发明专利]具有改进调谐范围的铁电变容管无效
申请号: | 200780039652.4 | 申请日: | 2007-10-19 |
公开(公告)号: | CN101529539A | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 达尼埃尔·贝朗;马雷克·克莱;克劳斯·雷曼;威廉默斯·C·科尔;鲁迪格·毛佐克 | 申请(专利权)人: | NXP股份有限公司 |
主分类号: | H01G7/06 | 分类号: | H01G7/06;H01L21/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈 源;张天舒 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 改进 调谐 范围 铁电变容管 | ||
1.一种铁电变容管(100),其包括导电的第一电极(106)和第二电极(110)以及位于第一电极(106)和第二电极(110)之间的介电叠层(108),其中:
介电叠层(108)包括具有串联连接的至少三个介电层的交替层序列(108.1至108.n),
介电叠层(108)的至少两个非单晶第一介电层(108.1,108.n)由具有第一介电常数的第一介电材料制成,
介电叠层(108)的至少一个非单晶第二介电层(108.2)布置在两个第一介电层之间,并且所述第二介电层由具有第二介电常数的第二介电材料制成,并且第一介电常数不等于第二介电常数,
当把第一介电材料和第二介电材料之一布置在两个测试电极之间时,如果在两个测试电极之间施加交流电压,则第一介电材料和第二介电材料之一比处于相同情况下的第一介电材料和第二介电材料中的另一个呈现出更弱的介电材料极化的铁电滞后,并且其中
介电叠层(108)的第一介电层(108.1,108.n)和第二介电层(108.2)在垂直于它们各自的层平面的方向上的各自延伸长度被适当地选择,使得具有较弱铁电滞后的介电材料占介电叠层(108)的总体积的百分比大于20%。
2.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料的介电强度高于第二介电材料的介电强度。
3.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料是PbZrxTi1-xO3或者掺杂La的PbZrxTi1-xO3,其中0<x<1,并且第二介电材料是Ba1-xSrxTiO3,其中0<x<1。
4.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料是掺杂La或者没有掺杂La的(Pb(Mg0.33Nb0.67)O3)1-x-(PbTiO3)x,其中0<x<1,并且第二介电材料是Ba1-xSrxTiO3,其中0<x<1。
5.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料是含有稀土碱性离子的PbZrxTi1-xO3的固溶体或者含有稀土碱性离子的掺杂La的PbZrxTi1-xO3的固溶体,并且第二介电材料是Ba1-xSrxTiO3,其中0<x<1。
6.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料是PbZrxTi1-xO3或者掺杂La的PbZrxTi1-xO3,其中0<x<1,并且第二介电材料是MgO或ZrO2或TiO2。
7.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一介电材料和第二介电材料还包含La、Nb、Mn或Fe掺杂物。
8.如权利要求1所述的铁电变容管,其被布置在高阻或绝缘Si衬底层(102)的顶部。
9.如权利要求1所述的铁电变容管,其中介电叠层(108)的第一介电层(108.1,108.n)和第二介电层(108.2)的各自厚度被适当地选择,使得具有较弱铁电滞后的介电材料占介电叠层的总体积的百分比大于20%。
10.如权利要求1所述的铁电变容管(1300),其中第一介电材料和第二介电材料(1308.5,1308.6,1308.7)具有柱状织构多晶结构。
11.如权利要求1所述的铁电变容管,其中第一电极(106)和/或第二电极(110)由Pt、Ti/Pt、TiO2/Pt、Ti/Au、或Au制成,或者由Pt和Au的叠层、或者Ti/Pt和Au的叠层制成。
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