[发明专利]上位控制装置、下位控制装置、画面操作权授予方法及存储了画面操作权授予程序的存储介质

说明书

技术领域

本发明涉及一种控制在用于控制基板处理装置或者输送装置的下位控制装置的显示部上能够显示的画面群的操作权的授予的上位控制装置、要求画面的操作的下位控制装置、画面的操作权授予方法以及存储画面操作权授予程序的存储介质。

背景技术

一直以来，提供如下系统，其通过在无尘室内设置对基板实施规定的处理的多个基板处理装置以及输送基板的输送装置，并且，将控制多个基板处理装置以及输送装置的下位PC(Personal Computer：个人计算机)分别设置在无尘室内的各装置的附近，并且，在无尘室外设置上位PC，上位PC与下位PC经由网络交换信息，由此使用上位PC遥控地控制基板处理。根据该系统，通过上位PC进行遥控操作，尽可能抑制人进出无尘室，由此可以将无尘室内的污染保持于最小限度。

在这种遥控控制系统中，上位PC的显示部和下位PC的显示部，共有地显示相同的画面群，在正常动作中，上位PC具有画面的操作权，在无尘室内的各装置发生了异常时等处于特别状况时，下位PC会从上位PC临时被授予同画面的操作权(例如，参照日本特开2004-348605号公报)。

但是，根据现有的系统，可以将画面的操作权交给上位PC或者下位PC中的任一方，但是具有画面的操作权的PC仅限于一台。因而，在一个PC具有操作权时，无法使用其他PC操作在其他PC上显示的画面，即使向其他PC通知了画面的操作要求，到画面的操作权移交到其他的PC为止，操作人员必须等待很久，因而效率低。

进而，近年来，在群构造的系统中包含的基板处理装置的数量有增加的倾向。因此，具有画面的操作权的PC以外的下位PC的数目增加，即使是在这些下位PC想操作画面时，从画面的操作权被转移到本机为止还需要等很久。其结果，操作人员必须去具有画面操作权的PC(通常是上位PC)所在的地方来操作该PC的画面，是非常不便的。

特别地，在使被导入工厂内的系统过渡到稳定的量产体制的前阶段，预想将无尘室内的各装置(基板处理装置和输送装置)作为评价机发挥功能时，产生例如基板碰撞到输送装置等在各装置产生各种异常的情况。此时，与在上位PC进行遥控操作相比，通过操作在各装置的附近配置的下位PC的画面，更容易并有效地在确认各装置的状态的同时控制各装置的动作。

发明内容

在此，本发明提供一种控制对要求画面操作的下位控制装置是否授予特定的画面群的操作权的上位控制装置、要求画面操作的下位控制装置、画面操作权授予方法以及存储了画面操作权授予程序的存储介质。

即，为了解决上述课题，根据本发明的第一方面，提供一种上位控制装置，其经由网络连接具有能够显示用于操作基板处理装置的画面群的显示部的第一下位控制装置、和具有能够显示用于操作输送装置的画面群的显示部的第二下位控制装置，并具有能够显示在上述第一下位控制装置的显示部被显示的画面群和在第二下位控制装置的显示部被显示的画面群的显示部，且控制上述第一下位控制装置以及上述第二下位控制装置。

该上位控制装置具备：画面数据库，其分别存储在上述第一下位控制装置的显示部上能够显示的画面群以及在上述第二下位控制装置的显示部上能够显示的画面群；画面确定部，其根据从上述第一下位控制装置或者上述第二下位控制装置中的任一个发送来的画面的操作要求，从在上述画面数据库中存储的多个画面群中确定要求了上述操作的画面群；操作权判断部，其判断由上述画面确定部确定出的画面群的操作权是否分配给上述要求了的下位控制装置；操作权授予部，其在通过上述操作权判断部判断为将上述画面群的操作权分配给上述提出要求的下位控制装置的情况下，为了容许由上述第一下位控制装置、上述第二下位控制装置以及上述上位控制装置构成的多个控制装置中的、不同的控制装置对不同的画面群同时独立地进行操作，不变更上述确定出的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，将上述确定出的画面群的操作权授予给上述提出要求的下位控制装置。

据此，通过上位控制装置按被操作要求的每个画面群判断是否分配了操作画面的权利。由此，不必变更由下位控制装置提出操作要求的画面群以外的画面群的操作权的授予对象，可以将被操作要求的画面群的操作权的操作权授予上述提出要求的下位控制装置。其结果，操作人员，针可以针对提出要求操作的下位控制装置，通过操作该下位控制装置的画面确认产生了异常的装置的状态同时控制该装置，针对其他装置，可以通过遥控操作上位控制装置的画面统一地控制系统整体。