[发明专利]玻璃衬底的质量测试机及其方法

权利要求书

1.一种用于检查玻璃衬底的质量的设备，所述设备包括将玻璃衬 底输送到处理设备的输送装置以及检查单元，所述检查单元在玻璃衬底 被输送时或玻璃衬底停止时实时地检查玻璃衬底中波纹的存在和波纹 的种类，所述检查单元包括：

发光部，照射光透过玻璃衬底的表面；

图像处理部，在发光部将光照射透过玻璃衬底时，拍摄由透过玻 璃衬底的光产生的玻璃衬底的表面的影子图像；以及

控制部，对所述影子图像进行波形化和微分，以按相等间隔分割 所述影子图像，然后对超出预设于内部存储器的边界条件的相等间隔 的数量进行计数，以检查玻璃衬底的表面的波纹的存在和波纹的种 类。

2.如权利要求1所述的用于检查玻璃衬底的质量的设备，其中， 发光部为氙灯。

3.如权利要求1所述的用于检查玻璃衬底的质量的设备，其中， 在发光部的前侧形成有裂隙，以将发光的照射方向限制在仅在玻璃衬底 之内并更清楚地显示透过玻璃衬底产生的玻璃衬底的表面的影子图像。

4.如权利要求3所述的用于检查玻璃衬底的质量的设备，其中， 相对于玻璃衬底，所述发光部的照射角度在18～22度的范围内。

5.一种检查玻璃衬底的质量的方法，包括：

按预定角度向玻璃衬底照射光，并获得玻璃衬底的表面的影子图 像；

波形化获得的影子图像；

使用微分算法对波形化的影子图像进行微分，以按相等间隔分割 影子图像；

将玻璃衬底的平坦度的基准值的边界条件应用于通过微分分割 成相等间隔的影子图像；

检测是否存在超出所述应用的边界条件的影子图像，以确定波纹 的存在；以及

当作为检测结果存在波纹时，确定波纹的种类。

6.如权利要求5所述的方法，其中，确定波纹的种类的步骤包括：

对超出边界条件的经微分的影子图像的相等间隔的数量进行计 数；以及

当计数的数量超出边界条件并且影子图像的全部相等间隔具有 重复的周期时，确定波纹为索型波纹。