[发明专利]用于界面设计的受控环境系统

权利要求书

1.一种用于处理衬底的组合体系结构，包括：

与一个或多个衬底湿式处理模块耦合的实验室环境受控 传输模块，设置所述实验室环境受控传输模块和所述一个或多 个衬底湿式处理模块以管理第一周围环境，以及利用以干进干 出顺序处理衬底的末端执行器激活与该一个或多个衬底湿式 处理模块界面；

与所述实验室环境受控传输模块和一个或多个等离子体 处理模块耦合的真空传输模块，设置所述真空传输模块和所述 一个或多个等离子体处理模块以管理第二周围环境；和

与所述真空传输模块和一个或多个环境处理模块耦合的 受控环境传输模块，设置所述受控环境模块和所述一个或多个 环境处理模块以管理第三周围环境；

其中所述组合体系结构能够在所述第一、第二或第三周 围环境下可控地处理所述衬底，其中该第一、第二和第三周围 环境与该组合体系结构外的非受控清洁室环境隔开。

2.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述第三周围环境是 基本无氧的惰性环境。

3.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述第一周围环境是 基本无氧的惰性环境。

4.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述第二周围环境可 以被设定在真空内。

5.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述第一、第二和第 三环境与所述组合体系结构的外部非受控洁净室环境隔离。

6.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述一个或多个环境 处理模块包括金属镀层系统。

7.如权利要求6所述的组合体系结构，其中所述金属镀层系统包 括电镀和无电镀系统。

8.如权利要求1所述的组合体系结构，进一步包括

可连接所述实验室环境受控传输模块和所述真空传输模 块的第一装载锁；和

可连接所述真空传输模块和所述受控环境传输模块的第 二装载锁。

9.如权利要求1所述的组合体系结构，其中与所述一个或多个衬 底湿式处理模块的接口由处理干进干出次序中衬底的终端执 行机构激活。

10.如权利要求9所述的组合体系结构，其中邻近头系统为衬底湿 式处理模块。

11.如权利要求9所述的组合体系结构，其中非牛顿流体用在所述 衬底湿式处理模块之一中。

12.如权利要求1所述的组合体系结构，其中擦刷系统用于衬底湿 式处理模块。

13.如权利要求1所述的组合体系结构，其中所述实验室环境受控 传输模块由具有用于将衬底移入和移出所述一个或多个衬底 湿式处理模块的轨道和终端执行机构的拉伸模块形成。

14.一种用于处理衬底的组合体系结构，包括：

与一个或多个衬底湿式处理模块耦合的实验室环境受控 传输模块，设置所述实验室环境受控传输模块和所述一个或多 个衬底湿式处理模块以管理第一周围环境；

与所述实验室环境受控传输模块和一个或多个等离子体 处理模块耦合的真空传输模块，设置所述真空传输模块和所述 一个或多个等离子体处理模块以管理第二周围环境；和    与所述真空传输模块和一个或多个环境处理模块耦合的 受控环境传输模块，设置所述受控环境模块和所述一个或多个 环境处理模块以管理第三周围环境；

其中所述组合体系结构能够在所述第一、第二或第三周 围环境下可控地处理所述衬底，其中所述第一、第二和第三周 围环境由槽阀和装载锁所隔开，当通过所述装载锁提供所述衬 底转换时，所述槽阀限定所述周围环境间的隔离，其中在不将 所述衬底暴露于所述组合体系结构的外部氧环境的情况下，在 所述组合体系结构内部可以执行干法等离子体处理和湿式处 理。