[发明专利]显影液的浓度调节方法、调制装置和显影液

权利要求书

1.一种显影液的浓度调节方法，用于调节在光致抗蚀剂显影处理中使用的碱性显影液的碱浓度，其特征在于：

测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系，调节碱浓度。

2.如权利要求1所述的显影液的浓度调节方法，其特征在于：

显影液的碱成分是氢氧化四甲铵，预先制定的碱浓度与碳酸盐浓度的关系用以下的近似式来表示，

y＝8×10^-8x²+2×10^-4x+2.38

式中，x为碳酸盐浓度(ppm)，y为TMAH浓度(wt％)。

3.如权利要求1或2所述的显影液的浓度调节方法，其特征在于：

当测定显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度时，作为浓度计，使用多成分浓度计，该多成分浓度计测量显影液中的超声波传播速度和显影液的电磁电导率，按照预先制定的在规定的温度时碱浓度及碳酸盐浓度与超声波传播速度和电磁电导率的关系，能够检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度。

4.一种显影液的调制装置，用于调制在光致抗蚀剂显影处理中使用的碱性显影液，其特征在于：

所述显影液的调制装置包括：

调制槽，用于调制规定浓度的显影液；

供给管线，用于向显影工序供给所调制的显影液；

回收管线，用于将已用过显影液回收至所述调制槽；

原液供给管线，用于将碱浓度相比于基准浓度为高浓度的新显影液原液供给至所述调制槽；

浓度计，用于检测所述调制槽内的显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度；和

控制装置，根据所述浓度计的检测浓度控制来自所述原液供给管线的显影液原液的供给；

该控制装置具有下述的功能，根据由所述浓度计测得的显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度、以及能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度的预先制定的关系，控制显影液原液的供给来调节碱浓度。

5.如权利要求4所述的显影液的调制装置，其特征在于：

显影液的碱成分是氢氧化四甲铵，预先制定的碱浓度与碳酸盐浓度的关系用以下的近似式来表示，

y＝8×10^-8x²+2×10^-4x+2.38

式中，x为碳酸盐浓度(ppm)，y为TMAH浓度(wt％)。

6.如权利要求4或5所述的显影液的调制装置，其特征在于：

所述浓度计是多成分浓度计，该多成分浓度计测量显影液中的超声波传播速度和显影液的电磁电导率，按照预先制定的在规定的温度时碱浓度及碳酸盐浓度与超声波传播速度和电磁电导率的关系，能够检测显影液的碱浓度和显影液中的碳酸盐浓度。

7.一种显影液的浓度调节方法，用于调节在光致抗蚀剂显影处理中使用的碱性显影液的碱浓度，其特征在于：

测定显影液的碱浓度、显影液中的碳酸盐浓度和溶解树脂浓度，按照能够发挥使显影处理后获得的CD值成为一定的值这样的溶解能力的碱浓度与碳酸盐浓度和溶解树脂浓度的预先制定的关系，调节碱浓度。

8.如权利要求7所述的显影液的浓度调节方法，其特征在于：

显影液的碱成分是氢氧化四甲铵，预先制定的碱浓度与碳酸盐浓度和溶解树脂浓度的关系用以下的近似式来表示，

y＝(2.33×10^-6x²+6.36×10^-4x+0.36c)/8.79+2.38

式中，x为碳酸盐浓度(ppm)，c为溶解树脂浓度(abs)，y为TMAH浓度(wt％)。

9.如权利要求7或8所述的显影液的浓度调节方法，其特征在于：

当测定显影液的碱浓度、显影液中的碳酸盐浓度和溶解树脂浓度时，作为浓度计，使用多成分浓度计，该多成分浓度计测量显影液中的超声波传播速度、显影液的电磁电导率和吸光度，按照预先制定的在规定的温度时碱浓度、碳酸盐浓度及溶解树脂浓度与超声波传播速度、电磁电导率和吸光度的关系，能够检测显影液的碱浓度、显影液中的碳酸盐浓度和溶解树脂浓度。