[发明专利]放射线敏感性组合物有效
申请号: | 200780040498.2 | 申请日: | 2007-11-01 |
公开(公告)号: | CN101528653A | 公开(公告)日: | 2009-09-09 |
发明(设计)人: | 越后雅敏;小黑大 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C07C39/17 | 分类号: | C07C39/17;C07C59/72;C07C65/105;C07C69/736;C08G8/20;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/11;H01L21/027 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 敏感性 组合 | ||
1.一种环状化合物,其中,该环状化合物为选自下述式(2-1)或式(2-2) 所表示的化合物,
式(2-1)以及式(2-2)中,R7A独立地为氢原子、碳原子数为1-12的 直链状烷基、卤素原子、氰基或羟基。
2.一种放射线敏感性组合物,其中,该放射线敏感性组合物含有权利 要求1所述的环状化合物以及溶剂。
3.根据权利要求2所述的放射线敏感性组合物,其中,所述环状化合 物为通过醛类化合物A1和酚类化合物A2的缩合反应而合成的分子量为 700-5000的环状化合物A,其中所述醛类化合物A1为碳原子数为2-59且具 有1-4个甲酰基的化合物,所述酚类化合物A2为碳原子数为6-15且具有1-3 个酚羟基的化合物。
4.根据权利要求3所述的放射线敏感性组合物,该放射线敏感性组合 物含有1-80重量%的固体成分和20-99重量%的溶剂,其中,所述放射线敏 感性组合物含有环状化合物A,而且环状化合物A为所述固体成分的总重量 的50重量%以上;其中用于合成环状化合物A的所述醛类化合物A1为不含 羟基和叔丁基中的任意一个的碳原子数为7-24的苯甲醛。
5.根据权利要求3所述的放射线敏感性组合物,该放射线敏感性组合 物含有1-80重量%的固体成分和20-99重量%的溶剂,其中,所述放射线敏 感性组合物含有环状化合物B,而且环状化合物B为所述固体成分的总重量 的50-99.999重量%;其中环状化合物B具有在环状化合物A的至少一个酚 羟基上引入有选自取代甲基、1-取代乙基、1-取代正丙基、碳原子数为1-20 的甲硅烷基、碳原子数为2-20的酰基、1-取代烷氧基烷基、碳原子数为2-20 的环醚基以及碳原子数为2-20的烷氧羰基所组成的组中的酸解离性官能团 的结构,醛类化合物A1为不含羟基和叔丁基中的任意一个的碳原子数为 7-24的苯甲醛;其中,
所述取代甲基选自甲氧基甲基、甲硫基甲基、乙氧基甲基、正丙氧基甲 基、异丙氧基甲基、正丁氧基甲基、叔丁氧基甲基、2-甲基丙氧基甲基、乙 硫基甲基、甲氧基乙氧基甲基、苯氧基甲基、1-环戊氧基甲基、1-环己氧基 甲基、苄基硫代甲基、苯甲酰甲基、4-溴苯甲酰甲基、4-甲氧基苯甲酰甲基、 胡椒基以及下述式(7)所示的取代基,
式(7)中,R2为碳原子数为1-4的烷基;
所述1-取代乙基选自1-甲氧基乙基、1-甲硫基乙基、1,1-二甲氧基乙基、 1-乙氧基乙基、1-乙硫基乙基、1,1-二乙氧基乙基、正丙氧基乙基、异丙氧基 乙基、正丁氧基乙基、叔丁氧基乙基、2-甲基丙氧基乙基、1-苯氧基乙基、 1-苯基硫代乙基、1,1-二苯氧基乙基、1-环戊氧基乙基、1-环己氧基乙基、1- 苯基乙基、1,1-二苯基乙基以及下述式(8)所示的取代基,
式(8)中,R2为碳原子数为1-4的烷基;
所述1-取代正丙基选自1-甲氧基正丙基和1-乙氧基正丙基;
所述1-取代烷氧基烷基选自1-环戊基甲氧基甲基、1-环戊基乙氧基甲基、 1-环己基甲氧基甲基、1-环己基乙氧基甲基、1-环辛基甲氧基甲基以及1-金 刚烷基甲氧基甲基。
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