[发明专利]液体树脂组合物、具粘合剂层的半导体晶片、具粘合剂层的半导体元件、封装件及其制法有效
申请号: | 200780040646.0 | 申请日: | 2007-10-30 |
公开(公告)号: | CN101536172A | 公开(公告)日: | 2009-09-16 |
发明(设计)人: | 增田刚;大久保光 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;C09J125/18;C09J7/02;C09J163/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 吴小瑛;刘春生 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液体 树脂 组合 粘合剂 半导体 晶片 元件 封装 及其 制法 | ||
1.将半导体元件结合在支持物上的液体树脂组合物,在120℃加热处理 所述液体树脂组合物10分钟后,所述树脂组合物在25℃的粘性为0.05N以 下,在80℃的粘性为1N以上。
2.如权利要求1所述的液体树脂组合物,其中,在所述加热处理后,所 述液体树脂组合物中挥发物的含量为1重量%以下。
3.如权利要求1所述的液体树脂组合物,其中,在加热处理前通过凝胶 渗透色谱测定的所述液体树脂组合物中,分子量为200~5000的面积(b)与 分子量为200以上的面积(a)的比例(b/a)为0.6以上。
4.如权利要求1所述的液体树脂组合物,其中,在加热处理后通过凝胶 渗透色谱测定的所述液体树脂组合物中分子量为200~5000的面积(b′)和 分子量为200以上的面积(a′)的比例(b′/a′),与在加热处理前通过凝胶渗 透色谱测定的所述液体树脂组合物中分子量为200~5000的面积(b)和分子 量为200以上的面积(a)的比例(b/a)的比值[(b’/a’)/(b/a)]为0.7以上。
5.如权利要求1所述的液体树脂组合物,其包含具有缩水甘油基的化合 物A和具有酚羟基的化合物B。
6.如权利要求5所述的液体树脂组合物,其中,所述具有酚羟基的化合 物B包含分子量为1000以下的化合物B1和分子量为1500~5000的化合物 B2。
7.如权利要求6所述的液体树脂组合物,其中,所述化合物B2为含有 羟基苯乙烯作为单体成分的化合物。
8.如权利要求6所述的液体树脂组合物,其中,所述化合物B2的分散 度为1.5以下。
9.如权利要求6所述的液体树脂组合物,其中,所述化合物B1与所述 化合物B2的重量比为0.6~7。
10.具有粘合剂层的半导体晶片,所述粘合剂层由包含热固性树脂和溶 剂的液体树脂组合物形成,其中,所述粘合剂层在25℃的粘性为0.05N以下, 在80℃的粘性1N以上。
11.如权利要求10所述的具有粘合剂层的半导体晶片,其中,所述粘合 剂层中的挥发物含量为1重量%以下。
12.如权利要求10所述的具有粘合剂层的半导体晶片,其中,所述粘合 剂层是通过加热处理液体树脂组合物而形成,液体树脂组合物中通过凝胶渗 透色谱测定的分子量为200~5000的面积(b)与分子量为200以上的面积(a) 的比例(b/a)为0.6以上。
13.如权利要求10所述的具有粘合剂层的半导体晶片,其中,所述粘合 剂层是通过加热处理所述液体树脂组合物而形成,并且所述粘合剂层中通过 凝胶渗透色谱测定的分子量为200~5000的面积(b′)和分子量为200以上 的面积(a′)的比例(b′/a′)与在加热处理前通过凝胶渗透色谱测定的所述液 体树脂组合物中分子量为200~5000的面积(b)和分子量为200以上的面积
(a)的比例(b/a)的比值[(b’/a’)/(b/a)]为0.7以上。
14.如权利要求10所述的具有粘合剂层的半导体晶片,其中,所述粘合 剂层的表面粗糙度为±5μm。
15.如权利要求10所述的具有粘合剂层的半导体晶片,其中,切割板结 合在所述具有粘合剂层的所述半导体晶片的粘合剂层一面。
16.具有粘合剂层的半导体元件,其中,通过切割将权利要求15所述的 具有粘合剂层的半导体晶片切片。
17.半导体封装件,其中,将权利要求16所述的具有粘合剂层的半导体 元件安装在支持物上。
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