[发明专利]利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法及固体表面平坦化设备

权利要求书

1.一种利用气体团簇离子束的固体表面平坦化方法，包括：

预先获得所述固体表面的形状数据的步骤；以及

以大于或等于临界角度的照射角度将所述气体团簇离子束导向到所述固 体表面的照射步骤，并且垂直投影到平坦化目标面的照射方向与垂直于不平 坦图案延伸的方向的方向匹配，所述不平坦图案的由所述形状数据识别的间 隔在800nm至1.1μm的范围内，所述照射角度定义为所述固体表面的法线 与所述气体团簇离子束之间形成的角度，以及所述临界角度定义为所述固体 与碰撞所述固体的团簇之间的相互作用距离明显增加时的照射角度。