[发明专利]可变电容器、可变电容器装置、高频电路用滤波器及高频电路

权利要求书

1.一种可变电容器，其特征在于，具备：第一电极部，设置在 包含基板的固定部上；及可动部，具有固定端相对于所述固定部固定 的悬臂梁结构，在前端侧具有在与所述第一电极部之间形成该可变电 容器的电容的第二电极部；

所述可动部具有配置在所述第二电极部与所述固定端之间的弯 曲部、及配置在所述弯曲部与所述固定端之间的直线状部；

在未对所述可动部施加驱动力的状态下，所述弯曲部由于自身保 有的应力，以从所述固定端侧朝向所述前端侧而从所述固定部侧上翘 的方式弯曲；

在未对所述可动部施加驱动力的状态下，所述直线状部由于自身 保有的应力，在与所述固定部之间隔着间隔的状态下，从所述固定端 侧朝向所述前端侧而与所述基板的主平面基本平行地延伸；

所述可动部响应第一驱动信号而位移，以使得选择性地成为所述 第二电极部与所述第一电极部对置的对置状态、或者从上方观察时所 述第二电极部与所述第一电极部不会重迭的非对置状态；

在未对所述可动部施加驱动力的状态下成为所述非对置状态。

2.根据权利要求1所述的可变电容器，其中所述可动部是由薄 膜构成的。

3.根据权利要求1所述的可变电容器，其中所述非对置状态下 的所述电容基本为零。

4.根据权利要求1所述的可变电容器，其中所述对置状态下的 所述电容为所述非对置状态下的所述电容的10倍以上。

5.根据权利要求1所述的可变电容器，其中，

所述第一电极部构成高频信号线的一部分；

在从所述基板的主面的法线方向进行俯视观察时，从所述固定端 侧朝向所述前端侧的方向与所述高频信号线的延伸方向基本正交。

6.根据权利要求1所述的可变电容器，其中，

所述固定部在与所述直线状部的至少一部分及所述弯曲部的至 少一部分相对应的部位上具有第三电极部；

所述可动部在所述直线状部及所述弯曲部上具有第四电极部；

作为所述第一驱动信号而对所述第三及第四电极部之间施加驱 动电压后，作用于所述第三及第四电极部之间的静电力被作为所述第 一驱动信号所产生的驱动力而施加到所述可动部上；

在将所述第一驱动信号所产生的预定大小以上的驱动力施加到 所述可动部上时，在该驱动力的作用下，所述直线状部的至少一部分 及所述弯曲部的至少一部分被牵引到所述固定部侧而成为所述对置 状态。

7.根据权利要求6所述的可变电容器，其中所述第二电极部与 所述第四电极部电连接。

8.根据权利要求6所述的可变电容器，其中所述第一电极部与 所述第三电极部电分离。

9.根据权利要求1所述的可变电容器，其中所述基板是搭载有 CMOS部的电路基板。

10.根据权利要求1所述的可变电容器，其中，所述可动部在所 述对置状态下，响应第二驱动信号而部分地位移，以使得所述第一电 极部的至少一部分与所述第二电极部之间的间隔变化。

11.根据权利要求10所述的可变电容器，其中，在所述可动部 的所述第二电极附近的部位或者与该部位相对应的所述固定部的部 位上，设置有在所述对置状态下与所述固定部或者所述可动部相抵接 的支撑凸起，以使所述可动部的所述第二电极附近的部分在所述对置 状态下由固定部支撑。

12.根据权利要求11所述的可变电容器，其中，所述可动部的 所述第二电极附近的部分是在所述对置状态下，经由所述支撑凸起而 以双侧支持的状态由所述固定部所支撑。

13.根据权利要求10所述的可变电容器，其中，作为所述第二 驱动信号而对所述第一及第二电极部之间施加直流偏置电压后，作用 于所述第一及第二电极部之间的静电力被作为所述第二驱动信号所 产生的驱动力而施加到所述可动部上。