[发明专利]具有寄生模衰减功能的振动陀螺仪

权利要求书

1.一种操作平面谐振器的方法，包括步骤：

利用在平面谐振器附近设置为靠近该平面谐振器寄生振动模一个 或多个波腹点的多个电容电极中的一个或多个感知电极来感知所述平 面谐振器寄生振动模的幅值；

产生与该寄生振动模的幅值成比例的电压；和

向在该平面谐振器附近设置为靠近该平面谐振器寄生振动模的所 述一个或多个波腹点的所述多个电容电极中的至少一个或多个驱动电 极施加由所述成比例的电压产生的驱动电压，从而衰减所述寄生振动 模。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述平面谐振器包括 碟形谐振器。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述碟形谐振器包括 中央安装且圆周开槽的碟盘，而所述多个电容电极包括位于所述碟形 谐振器内的嵌入式电极。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述一个或多个感知 电极位于围绕所述碟形谐振器的所述一个或多个驱动电极的周围。

5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述平面谐振 器作为陀螺仪操作，来测量所述平面谐振器的旋转。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多个感知电极包 括多个分隔开的感知电极，从而提供差分感知信号来感知所述寄生振 动模的幅值。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述平面谐振器包括 具有中央安装点的碟形谐振器，并且感知所述寄生振动模的幅值的所 述多个分隔开的感知电极在一个或多个内侧感知电极和一个或多个外 侧感知电极之间分隔开。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述成比例的电压由 模拟控制电路产生。

9.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述成比例的电压由 数字控制电路产生。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，施加驱动电压包括利 用宽带DC电容感知方式主动控制共模位置和速度。

11.一种传感器，包括：

平面谐振器；

多个电容电极，其设置在所述平面谐振器附近，靠近所述平面谐 振器寄生振动模的一个或多个波腹点，所述多个电容电极包括用于感 知所述平面谐振器寄生振动模的幅值的一个或多个感知电极；

感知电路，其用于产生与所述寄生振动模的幅值成比例的电压； 和

反馈控制器，其向在该平面谐振器附近设置为靠近该平面谐振器 寄生振动模的所述一个或多个波腹点的所述多个电容电极中的至少一 个或多个驱动电极施加由所述成比例的电压产生的驱动电压，从而衰 减所述寄生振动模。

12.如权利要求11所述的传感器，其特征在于，所述平面谐振器 包括碟形谐振器。

13.如权利要求12所述的传感器，其特征在于，所述碟形谐振器 包括中央安装且圆周开槽的碟盘，而所述多个电容电极包括位于所述 碟形谐振器内的嵌入式电极。

14.如权利要求13所述的传感器，其特征在于，所述一个或多个 感知电极位于围绕所述碟形谐振器的所述一个或多个驱动电极的周 围。

15.如权利要求11-14任一项所述的传感器，其特征在于，所述平 面谐振器作为陀螺仪操作，来测量所述平面谐振器的旋转。

16.如权利要求15所述的传感器，其特征在于，所述多个感知电 极包括多个分隔开的感知电极，从而提供差分感知信号来感知所述寄 生振动模的幅值。

17.如权利要求16所述的传感器，其特征在于，所述平面谐振器 包括具有中央安装点的碟形谐振器，并且感知所述寄生振动模的幅值 的所述多个分隔开的感知电极在一个或多个内侧感知电极和一个或多 个外侧感知电极之间分隔开。

18.如权利要求17所述的传感器，其特征在于，所述成比例的电 压由模拟控制电路产生。