[发明专利]测量电路及测试设备

说明书

技术领域

本发明涉及测量电路及测试设备，尤其涉及对被测试装置加直流电压， 测量上述被测试装置通过的直流电流。本申请与下列日本申请有关。对于 承认通过文献参考编入内容的指定国，通过参考下列申请记载的内容编入 本申请，作为本申请的一部分。

1.专利申请2006-310358，申请日2006年11月16日。

背景技术

作为半导体电路等的被测试装置的测试项目，公知的有对被测试装置 的直流测试。所谓直流测试，是通过测量供给到被测试装置中的电源电流 或电源电压，判定被测试装置的好坏的测试。例如可以考虑：在对被测试 装置施加了规定的直流电压时，测量在被测试装置供给的直流电流的电压 输入电流测量，或在对被测试装置供给了规定的直流电流时，测量供给被 测试装置的直流电压的电流外加电压测量。

同时，还可以考虑在进行该直流测试时，应该防止对被测试装置输入 过电流等，限制对被测试装置供给的直流电流。例如，在被测试装置通过 的直流电流达到极限值以上时，考虑采用钳位电路，以限制对被测试装置 施加的直流电压(例如参考专利文献1)。

被测试装置中的直流电流，例如能够从设置在供给电源功率的放大器 和被测试装置的输入端之间的电阻两端的压降测得。因此，通过检测出电 阻的放大器侧的一端相对接地电位的第1电压和在电阻的其它端相对接地 电位的电压加上根据极限值得到的电压后的第2电压之间的大小关系，能 查出直流电流是否比极限值大。

例如，通过把用规定的分压电阻对第1电压进行分压之后的，和用同 一分压比的分压电阻对第2电压分压后的电压输入到差动放大器，能够检 测出直流电流是否比极限值大。并且，通过根据差动放大器的输出限制直 流电流，而能够防止对被测试装置输入过大的直流电流。

专利文献1，特开2002-277505号公报。

可是，如果对被测试装置施加了高电压，如上所述，以接地电位为基 准让钳位电路工作，则被加到分压电阻的电压变为高电压。因此，在第1 电压对应的分压电阻的分压比和第2电压对应的分压电阻的分压比之间如 果产生误差，则CMR误差变得更大，可以认为会导致钳位的精密度劣化。

发明内容

因此，本发明的一个目的在于提供解决上述课题的测量电路及测试设 备。该目的由独立权利要求记载的特征组合达成。从属权利要求规定了本 发明的更有利的具体例子。

为了解决上述课题，根据与本发明说明书包含的与新发明相关的第1 方面的测量电路之一例，提供一种测量电路，该测量电路是对被测试装置 施加直流电压，测量在上述被测试装置通过的直流电流，其包括：根据输 入电压发生上述直流电压，并施加给上述被测试装置的主放大部、串联设 置在上述主放大部的输出端和上述被测试装置的输入端之间的串联电阻、 限制上述主放大部输出的上述直流电流的电流值的钳位电路。上述钳位电 路包括：接收上述主放大部输出的上述直流电压，输出相对上述直流电压 具有与上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压的第1极限电 压输出部；基于上述第1极限电压与在上述串联电阻两端的压降，限制上 述主放大部输出的上述直流电流的第1钳位单元。

另外，根据本说明书包含的发明涉及的第2方面的测量电路的一个例 子，提供一种对被测试装置施加直流电压，测量上述被测试装置中通过的 直流电流的测量电路，包括：主放大部，其根据输入电压生成上述直流电 压，施加给上述被测试装置；串联电阻，串联设置在上述主放大部的输出 端和上述被测试装置的输入端之间；钳位电路，限制上述主放大部输出的 上述直流电流的电流值；缓冲器，分路并接受上述输入电压，输入给上述 钳位电路。上述钳位电路具有：第1极限电压输出部，接受上述主放大部 输出的上述直流电压，输出相对上述缓冲器输入的上述输入电压，具有与 上述直流电流的极限值对应的电压差的第1极限电压；第1钳位单元，根 据上述第1极限电压和上述串联电阻两端中的压降，限制上述主放大部输 出的上述直流电流。