[发明专利]测试装置及测试模块

说明书

技术领域

本发明涉及测试装置及测试模块。本发明特别涉及测试半导体电路等的被 测试设备的测试装置，和测试装置中设置的测试模块。本申请与下列美国专利 申请有关。关于认可通过文献的参考编入内容的指定国，通过参考将下列申请 记载的内容编入本申请，作为本申请的一部分。

申请号11/603,958，申请日2006年11月22日。

背景技术

作为用于测试半导体电路等被测试设备的测试装置，可考虑同时测量多个 被测试设备的装置。例如，可以考虑通过多个通道并列测量各个被测试设备输 出的输出信号的装置。

比如通过在每个母板等的测试基板的各自的通道上安装用于比较输出信号 的电平和参考值的电平比较电路、运算电路等，而能够分别测量各个被测试设 备输出的输出信号。

但是在测试基板中，还设置有生成测试信号并提供给被测试设备的电路、 生成时钟脉冲并供给被测试设备的电路等等其他的电路。为此，测试基板上的 封装密度、空间间隔等受到限制，在每个通道上安装测量用电路是很困难的。

同时，当每个通道都安装了测量电路时，由于各测量电路的零件散差等原 因，而难以在每个通道间保证测量的准确度。

发明内容

因此，本说明书包含的发明的一个侧面，目的在于提供能够解决上述课题 的测试装置及测试模块为。该目的由独立权利要求的范围所记载的特征组合而 达成。从属权利要求进一步规定了本发明的更有利的具体例。

即，根据与本说明书包含的发明相关的第1侧面的测试装置的一个例子 (exemplary)提供一种测试装置，是测试被测试设备的测试装置，其包括对被 测试设备供给测试信号的信号供给部；将按照所述测试信号，从所述被测试设 备输出的输出信号作为被测量信号而输入的输入部；根据指定对被测量信号取 样的时限的取样时钟，生成具有与被测量信号的1周期对应的脉冲宽度的周期 脉冲的周期脉冲生成部；输出与周期脉冲的宽度对应的电压的变换部；将电压 变换成数字电压值的AD转换器；从数字电压值算出表示周期脉冲的脉冲宽度 的数字脉冲宽度的脉冲宽度计算部；调整从数字电压值向数字脉冲宽度变换的 变换参数的调整部。

根据与本说明书包含的发明相关的第2侧面的测试装置的一个例子 (exemplary)，提供一种测试模块，是被装载在测试被测试设备的测试装置的测 试头内的测试模块，包括：通过在测试头上载置的母板，作为被测量信号输入 被测试设备输出的输出信号的输入部；根据指定取样被测量信号的时限的取样 时钟；生成具有与被测量信号的1周期对应的脉冲宽度的周期脉冲的周期脉冲 生成部；输出与周期脉冲的宽度对应的电压的变换部、将电压转换成数字电压 值的AD转换器；从数字电压值算出表示周期脉冲的脉冲宽度的数字脉冲宽度 的脉冲宽度计算部；调整从数字电压值向数字脉冲宽度变换的变换参数的调整 部。

另外，上述发明的概要并未列举出本发明的必要技术特征的全部，这些特 征群的辅助结合也构成本发明。

附图说明

图1是本发明的实施方式涉及的测试装置100的构造例示意图。

图2是被装载在测试头120上的电路构成一例示意图。

图3是每个通道电路20的详细构成的一例示意图。

图4是周期脉冲生成部40及变换部50操作的一例示意图。

图5是调整用时钟发生部90的构成的一例示意图。

图6是调整部86操作的一例示意图。

附图标记

10.信号供给部，12.测量电路，20.每个通道电路，22.AD转换器，24-1、24-2. 转换部，26.输入部，28.电容器，30.开关，32、34.二极管，36.比较电路，38.输 出电路，40.周期脉冲生成部，42.第1.触发器，44.第2触发器，46.第3触发器， 48.输出电路，50.变换部，52.源极侧电流源，54.源极侧晶体管，56.吸收侧晶体 管，58.吸收侧电流源，60、64.电容器，62.开关，66、68.二极管，70.放大器， 80.数据处理部，82.脉冲宽度计算部，84.取样时钟生成部，86.调整部，88、98. 分频器，90.调整用时钟发生部，92.可调时钟发生部，94、96.时钟驱动器，100. 测试装置，110.母板，120.测试头，122.运算部，130.主机，140.测试模块，200. 被测试设备。