[发明专利]基板处理装置及其方法

权利要求书

1.一种基板处理器，具有一真空腔室，以在一受控环境中处理一基板，该基板处理器包括：

一第一机械手，其用以将基板自一第一组装载互锁室传输至一预处理站，且将基板自一处理台传输至该第一组装载互锁室；

一第二机械手，其用以将基板自一第二组装载互锁室传输至该预处理站，且将基板自该处理台传输至该第二组装载互锁室；以及

一传输机构，用以将基板自该预处理站传输至该处理台。

2.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该第一机械手以及该第二机械手各包括一三轴机械手。

3.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该预处理站包括一预处理装置，该预处理装置是选自包含一对准器与一定向器的装置组。

4.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该预处理站包括一传输站。

5.根据权利要求1所述的基板处理器，还包括一双重拾取追踪机械手，在至少一载入端口与至少一组装载互锁室之间传输基板。

6.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该传输机构包括一线性传输臂。

7.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该第一机械手自该处理台移除由该第二机械手置放于该预处理站上的基板，且该第二机械手自该处理台移除由该第一机械手置放于该预处理站上的基板。

8.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该第一机械手自该处理台移除由该第一机械手置放于该预处理站上的基板，且该第二机械手自该处理台移除由该第二机械手置放于该预处理站上的基板。

9.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该传输机构用以临时储存一个基板，而其他基板于该真空腔室内进行处理。

10.根据权利要求1所述的基板处理器，其中该第一组装载互锁室以及该第二组装载互锁室各包括双重单一晶片装载互锁室，使得每一机械手可对两个装载互锁室进行存取。

11.根据权利要求1所述的基板处理器，还包括可按比例缩放的一配置，在该配置中该机械手其中之一以及相关联组的装载互锁室被自操作中移除。

12.一种在腔室中处理基板的方法，包括：

使用一第一机械手以将一第一基板自一第一组装载互锁室载入至一预处理站；

于该预处理站上预处理该第一基板；

使用一传输机构将该第一基板移动至一处理台；

使用一第二机械手将一第二基板自一第二组装载互锁室载入至该预处理站；

于该预处理站上预处理该第二基板；

于该处理台上处理该第一基板；

使用该第二机械手将该第一基板移动至该第二组装载互锁室；

使用该传输机构将该第二基板移动至该处理台；

在该处理台上处理该第二基板；以及

使用该第一机械手将该第二基板移动至该第一组装载互锁室。

13.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中所述预处理是选自包含对准与定向的步骤组。

14.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中该预处理站包括一传输站。

15.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中所述使用该传输机构将该第一基板移动至该处理台以及所述使用该第二机械手将该第二基板自该第二组装载互锁室载入至该预处理站的步骤同时发生。

16.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中所述在该预处理站上预处理该第二基板以及所述在该处理台上处理该第一基板之步骤同时发生。

17.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中所述使用该第二机械手将该第一基板移动至该第二组装载互锁室以及所述使用该传输机构将该第二基板移动至该处理台的步骤同时发生。

18.根据权利要求12所述的在腔室中处理基板的方法，其中该第一组装载互锁室以及该第二组装载互锁室各包括双重单一晶片装载互锁室，使得每一机械手可对两个装载互锁室进行存取。