[发明专利]脉动冷却系统

权利要求书

1.一种冷却装置，其包括具有膜的至少一个换能器(1)，所述换能器(1)适于以工作频率产生压力波，其特征在于：

第一腔体和第二腔体(3，4)，所述换能器布置于所述第一腔体与第二腔体之间使得所述膜在这些腔体之间形成不透流体的密封，

每个腔体具有至少一个开口(7，8)，所述开口(7，8)适于发出脉动净输出流体流，

其中，形成所述腔体和开口以使得在所述工作频率，由所述腔体中的第一个腔体的所述开口(7)所发出的第一谐波流体流与所述腔体的第二个腔体的所述开口(8)所发出的第二谐波流体流反相，这样来自所述这些开口的谐波流体流之和基本上为零。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，每个腔体具有多于一个开口。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，两个换能器(34，35)布置于所述腔体(31，32)之间相对的位置。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，任何两个开口之间的距离d小于0.2λ，且优选地小于0.1λ，其中λ为在所述流体中对应于所述工作频率的波长。

5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，将所述工作频率选择为使所述第一谐波流与第二谐波流的速度在这个工作频率处具有局部最大值。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述腔体(3，4)具有基本上相等的体积。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述开口(7，8)具有基本上相等的截面积。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述开口经由通道(5，6)连接到相应腔体。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述通道(5，6)具有基本上相等的长度。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述通道(5，6)具有基本上相等的截面。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的装置，其特征在于，连接所述第一腔体的至少一个开口的通道穿过所述第二腔体延伸，使得所述至少一个开口位于所述装置的与所述第二腔体的开口相同的侧部。

12.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，其使用微机电系统(MEMS)技术来实现。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述换能器通过蚀刻硅衬底而形成。

14.一种包括两个根据前述权利要求中任一项所述的装置(41，42)的冷却布置，其中所述装置的开口被布置成相互合作以实现改进的冷却。

15.根据权利要求14所述的冷却布置，其特征在于，所述第一装置的所述开口与所述第二装置的所述开口之间的平均距离小于0.2λ，优选地小于0.1λ，其中λ为在所述流体中对应于所述工作频率的波长。