[发明专利]用于光电薄膜制造的卷至卷电镀

权利要求书

1.一种用于在连续柔性工件前进经过系统的单元时在该连续柔性工件的前表面上形成用于太阳能电池的吸收体结构的系统，该系统包括：

调节单元，用于调节连续柔性工件的前表面以便形成活化表面部分，其中，该活化表面部分有基本上沿连续柔性工件的一致活性表面，用于电镀；

第一电镀单元，用于通过当连续柔性工件前进经过第一电镀站时在连续柔性工件的一个活化表面部分上方电镀属于IB族和IIIA族中的一个的金属而形成第一层前体堆垛；

第一清洁单元，用于清洁在第一电镀单元中沉积的第一层；

第二电镀单元，用于通过当连续柔性工件前进经过第二电镀单元时在第一层上方电镀属于IB族和IIIA族中的另一个的另一金属而形成第二层前体堆垛，同时在第一电镀单元中继续将第一层电镀在连续柔性工件的表面的一随后活化表面部分上，其中，第一层与第二层不同；

第二清洁单元，用于清洁在第二电镀单元中沉积的第二层；以及

运动组件，用于保持和使得连续柔性工件线性运动通过系统的单元，其中，运动组件包括：供给卷轴，用于打开连续柔性工件的未处理部分并将其供给到系统中；以及卷取卷轴，用于接收处理后的部分，并使它们卷绕。

2.根据权利要求1所述的系统，还包括：第三电镀单元，用于通过当连续柔性箔前进经过第一、第二和第三电镀站时在第二层上方进一步电镀属于IB族和IIIA族中的一个的金属而形成第三层，以便获得前体堆垛，同时在第二电镀站中继续将第二层电镀在已经电镀于连续柔性工件的表面的该随后活化部分上的第一层上，同时在第一电镀站中继续将第一层进一步电镀在连续柔性工件的表面的随后一个活化表面部分上，其中，第三层与第一层和第二层不同。 

3.根据权利要求2所述的系统，还包括：一个清洁-干燥单元，用于清洁和干燥第三层；以及第三清洁单元，用于清洁在第三电沉积单元中沉积的第三层。

4.根据权利要求3所述的系统，还包括：退火单元，用于与第一、第二和第三层反应。

5.根据权利要求3所述的系统，还包括：第四电沉积单元，用于将第四层VIA族材料沉积在第三层上方。

6.根据权利要求5所述的系统，其中：VI族材料包括Se、S和Te中的一个。

7.根据权利要求5所述的系统，还包括：清洁-干燥单元，用于清洁和干燥第四层；以及退火单元，用于使第一、第二、第三和第四层反应。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，调节单元包括以下的至少一个：

电处理腔室，该电处理腔室具有电处理溶液和电极，该电极可以相对于连续柔性工件的前表面为阳极或阴极极性，以便形成活化部分；

沉积腔室，用于在连续柔性工件的前表面上方沉积种子层；

酸浸腔室，用于处理连续柔性工件的前表面，以便形成活化部分；以及

蚀刻腔室，用于蚀刻连续柔性工件的前表面，以便形成活化部分。

9.根据权利要求1所述的系统，其中：IB族材料包括Cu，IIIA组材料包括Ga和In中的一个。

10.根据权利要求1所述的系统，还包括：包装供给辊，用于提供连续包装薄片，以便当连续柔性工件缠绕卷取卷轴时放置在处理后的部分上。

11.根据权利要求9所述的系统，还包括：沉积监测单元，用于监测和控制沉积的第一、第二和第三层的厚度。

12.根据权利要求11所述的系统，其中：沉积监测单元向第一、第二和第三电沉积单元的每个提供反馈信号，以便使得沉积的第一、 第二和第三层的厚度朝着用于第一、第二和第三层的每个的预定厚度会聚。

13.根据权利要求12所述的系统，其中：会聚是为了保持Cu/In+Ga和Ga/In+Ga的目标比率。