[发明专利]用于使用弯曲支架创建通过微透镜阵列的孔的方法和设备以及由此制造的产品

权利要求书

1.一种用于在基板的背面上的层中创建孔的设备，所述基板包括其前面上的微透镜阵列，所述设备包括：

支架，其包括定义轴的圆柱状表面分段，其中所述圆柱状表面分段被配置为支持基板的背面上的所述层，以使得基板的前面上的所述微透镜阵列面向所述轴；

扫描反射镜；

脉冲激光器，其被配置为使脉冲激光束照射在所述扫描反射镜上，所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使照射到其上的脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段进行扫描，以穿过基板的前面上的所述微透镜阵列并且进入基板的背面上的所述层中，以创建所述孔；以及

线性转移器，其被配置为使所述支架和/或所述扫描反射镜彼此相对地轴向、线性地转移，以便轴向地转移沿着所述圆柱状表面分段圆周地扫描的所述脉冲激光束。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜包括旋转的多边形反射镜，所述多边形反射镜被配置为围绕平行于所述圆柱状表面分段的所述轴的旋转轴而旋转。

3.如权利要求2所述的设备，其中所述旋转的多边形反射镜被相对于所述圆柱状表面分段的所述轴而定位，以使得所述脉冲激光束在所述圆柱状表面分段的所述轴处照射在所述反射镜的多边形表面上。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使所述脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段并且垂直于所述圆柱状表面分段进行扫描。

5.如权利要求1所述的设备，其中所述扫描反射镜被相对于所述支架而定向，以使所述脉冲激光束从所述轴圆周地沿着所述圆柱状表面分段在对所述圆柱状表面分段的垂直偏差小于约0.01°的情况下进行扫描。

6.如权利要求2所述的设备，还包括可移动反射镜，所述可移动反射镜被配置为使来自所述脉冲激光器的所述脉冲激光束照射到所述旋转的多边形反射镜上，其中所述可移动反射镜被配置为至少部分地补偿所述旋转的多边形反射镜和/或其围绕所述旋转轴的旋转中的缺陷。

7.如权利要求6所述的设备，其中所述可移动反射镜包括快速转向反射镜。

8.如权利要求1所述的设备，其中所述线性转移器包括被配置为相对于所述支架轴向地转移所述扫描反射镜的螺旋传动。

9.如权利要求1所述的设备，其中所述圆柱状表面分段包括：

刚性支持层，在其中包括穿孔；

所述刚性支持层上的柔性多孔缓冲层，在所述刚性支持层和所述轴之间；以及

所述柔性多孔缓冲层上的柔性多孔支持层，在所述柔性多孔缓冲层和所述轴之间。

10.如权利要求7所述的设备，其中所述柔性多孔支持层被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性多孔支持层中的所述穿孔、通过所述柔性多孔缓冲层和通过所述刚性支持层抽真空，以支持所述柔性多孔支持层上的基板的背面。

11.如权利要求1所述的设备，其中所述圆柱状表面分段包括：

穿孔金属板；

所述穿孔金属板上的泡沫层，在所述穿孔金属板和所述轴之间；以及

所述泡沫层上的柔性屏，在所述泡沫层和所述轴之间。

12.如权利要求9所述的设备，其中所述柔性屏被配置为支持基板的背面，以及其中所述支架还包括真空稳压室，所述真空稳压室被配置为通过所述柔性屏、通过所述泡沫层和通过所述穿孔金属板中的所述穿孔抽真空，以支持所述柔性屏上的基板的背面。

13.如权利要求1所述的设备，还包括控制器，所述控制器被配置为同时控制所述脉冲激光器的脉动、所述扫描反射镜的扫描和所述转移器的转移。

14.如权利要求7所述的设备，还包括控制器，所述控制器被配置为同时控制所述脉冲激光器的脉动、所述旋转的多边形反射镜的扫描、所述快速转向反射镜的运动和所述转移器的转移。

15.如权利要求1所述的设备，其中所述微透镜在其基部处的大小小于约100μm，以及其中在所述圆柱状表面分段处所述脉冲激光束的直径约为1mm。