[发明专利]加强接触元件

权利要求书

1、一种加强弹性元件，包括：

弹性元件，其被配置为电探测待测器件，所述弹性元件具有第一末端和相反的第二末端；以及

加强构件，其具有：第一末端，其在所述弹性元件的第一末端处或设置在所述弹性元件的所述第一与第二末端之间的一点处附连到所述弹性元件；相反的第二末端，其按照朝向所述弹性构件的第二末端的方向设置；以及设置在所述第一和第二末端之间的弹性部分，其中所述弹性部分与所述弹性构件以分离关系设置。

2、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，与具有相同尖端长度的悬臂式接触元件相比，所述加强弹性元件具有减小的摩擦距离。

3、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件包括硅。

4、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的弹性部分具有比轴向弹性常数低的旋转弹性常数。

5、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述弹性部分包括扭转弹簧。

6、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的第二末端附连到所述弹性元件。

7、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的第二末端附连到耦合至所述弹性元件的支承结构。

8、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件通过粘合剂附连到所述弹性元件。

9、如权利要求1所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的第一末端在设置在所述弹性构件的第一与第二末端之间的一点处附连到所述弹性元件。

10、如权利要求9所述的加强弹性元件，其特征在于，还包括：

如权利要求1所述的多个弹性元件，每一个所述弹性元件都附连到所述加强构件。

11、如权利要求10所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的第二末端耦合到支承结构。

12、如权利要求10所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件与所述多个弹性构件电绝缘。

13、一种探针卡组件，包括：

探针基板；以及

耦合到所述探针基板的至少一个加强弹性元件，包括：

弹性元件，其被配置为电探测待测器件，所述弹性元件具有第一末端和相反的第二末端；以及

加强构件，其具有：在所述弹性元件的第一末端处或设置在所述弹性元件的第一和第二末端之间的一点处附连到所述弹性元件的第一末端；相反的第二末端，其按照朝向所述弹性构件的第二末端的方向设置；以及设置在所述第一和第二末端之间的弹性部分，其中所述弹性部分以与所述弹性构件分离的关系设置。

14、如权利要求13所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件包括硅。

15、如权利要求13所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的弹性部分具有比轴向弹性常数低的旋转弹性常数。

16、如权利要求13所述的加强弹性元件，其特征在于，所述弹性部分包括扭转弹簧。

17、如权利要求13所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件通过粘合剂附连到所述弹性元件。

18、如权利要求13所述的加强弹性元件，其中，所述加强构件的第一末端在所述弹性构件的第一和第二末端之间设置的一点处附连到所述弹性元件。

19、如权利要求18所述的加强弹性元件，其特征在于，还包括：

如权利要求1所述的多个弹性元件，所述每一个弹性元件都附连到所述加强构件。

20、如权利要求19所述的加强弹性元件，其特征在于，所述多个弹性元件的第二末端耦合到支承结构。

21、如权利要求20所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件的第二末端耦合到所述支承结构。

22、如权利要求19所述的加强弹性元件，其特征在于，所述加强构件与所述多个弹性构件电绝缘。