[发明专利]用于形成太阳能电池吸收体的前驱物膜的卷对卷反应

权利要求书

1.一种集成式的卷至卷快速热处理(RTP)工具，其用于通过使 连续柔性片状工件的表面上的前驱物层反应而形成太阳能电池吸收 体，所述工具包括：

细长的壳体，其包含密封的公共腔，所述公共腔包含加热腔、供 应腔、以及接收腔，其中：

所述加热腔包括狭窄的处理间隙，所述狭窄的处理间隙将 预先设定的温度分布施加至所述连续柔性片状工件的处于该狭 窄的处理间隙内的部分上，其中所述狭窄的处理间隙由形成开 口的顶壁、底壁和侧壁所限定，其中所述开口的高度显著小于 其宽度，并且所述狭窄的处理间隙具有输入开口、输出开口以 及设置在所述输入开口和所述输出开口之间用于将来自所述加 热腔的所述狭窄的处理间隙的气态物移除的排出管线；

所述供应腔容纳所述连续柔性片状工件的供应辊，并且具 有供应腔开口，其中，所述供应腔开口与所述狭窄的处理间隙 的输入开口对准，所述连续柔性片状工件设置成从所述供应腔 进入所述加热腔；

所述接收腔容纳接收辊以从所述加热腔收集所述连续柔 性片状工件，并且具有接收腔开口，其中，所述接收腔开口与 所述狭窄的处理间隙的输出开口对准，所述连续柔性片状工件 设置成从所述加热腔进入所述接收腔；以及

移动机构，其在所述公共腔内保持所述连续柔性片状工件，并且， 通过将所述连续柔性片状工件的从所述供应辊上事先退绕的部分送 进、并通过拾取所述连续柔性片状工件的已处理部分并将之卷绕在所 述接收腔中的接收辊上，移动所述连续柔性片状工件使之经过所述加 热腔的所述狭窄的处理间隙。

2.按照权利要求1的工具，其特征在于，进一步包含与所述公共 腔相关联的真空管线，所述真空管线允许在所述公共腔内部形成真空 以及将所述公共腔内部排空。

3.按照权利要求2的工具，其特征在于，进一步包括环绕所述加 热腔的圆筒形封套，其中所述圆筒形封套密封至所述细长壳体。

4.按照权利要求1的工具，其特征在于，所述加热腔的所述狭窄 的处理间隙通过设置在所述狭窄的处理间隙的外部的加热元件加热， 从而使得限定所述处理间隙的顶壁、底壁和侧壁被加热，形成所述温 度分布。

5.按照权利要求4的工具，其特征在于，进一步包括临近所述狭 窄的处理间隙的输入开口设置的气体输入管线，其被构造成将处理气 体导入所述加热腔的所述狭窄的处理间隙，使得所述处理气体沿着所 述连续柔性片状工件的运动方向流动。

6.按照权利要求5所述的工具，其特征在于，所述供应腔和所述 接收腔各自均包括气体入口，以分别将惰性气体送入所述供应腔和所 述接收腔中，从而建立从所述供应腔通过所述狭窄的处理间隙的输入 开口进入所述狭窄的处理间隙的惰性气体流，以及从所述接收腔通过 所述狭窄的处理间隙的输出开口进入所述狭窄的处理间隙的惰性气体 流，从而防止所述狭窄的处理间隙中的气态物进入所述供应腔和所述 接收腔。

7.按照权利要求4所述的工具，其特征在于，所述顶壁和所述底 壁之间的距离在所述加热腔的所述处理间隙的长度上变化。

8.按照权利要求7所述的工具，其特征在于，所述狭窄的处理间 隙的输入开口和输出开口各自均包含分隔件，所述分隔件限定小于所 述处理间隙的间隙。

9.按照权利要求5的工具，其特征在于，所述气体输入管线将 VIA族材料处理气体供应至所述加热腔内。

10.按照权利要求4的工具，其特征在于，所述供应腔和所述接 收腔各自均包含气体入口，以用于分别将惰性气体传输至所述供应腔 和所述接收腔内，从而建立从所述供应腔通过所述狭窄的处理间隙的 输入开口进入所述狭窄的处理间隙的惰性气体流，以及从所述接收腔 通过所述狭窄的处理间隙的输出开口进入所述狭窄的处理间隙的惰性 气体流，从而防止所述狭窄的处理间隙中的气态物进入所述供应腔和 所述接收腔。

11.按照权利要求4的工具，其特征在于，所述狭窄的处理间隙 的顶壁实质上平行于所述狭窄的处理间隙的底壁。