[发明专利]对温度进行精密调整的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种对温度进行精密调整的装置，尤其涉及将流过加热装置和冷却装置的作为温度调整对象的流体调整为规定温度的对温度进行精密调整的装置。

背景技术

通常，在半导体装置的制造工序等精密加工领域中，其大部分都设置在温度和湿度受到控制的无尘室内。

但是，近年来，即使是精密加工领域，也在不断出现要求进行加工精度比以往更高的精密加工等的工序。

对于该要求高精密加工等的工序而言，通常要求温度变化比无尘室的温度变化更小的环境。因此，将要求高精密加工等的工序设置在进行精密的温度管理的空间单元内。

作为这样的空间单元的温度调整中使用的温度调整装置，例如在下述专利文献1中记载了图12所示的温度调整装置。

在图12所示的温度调整装置中设置有压缩机100、三通阀102、冷凝器104、膨胀阀106、冷却器108和加热器110，并设置有具有冷却器108的冷却流路和具有加热器110的加热流路。

利用该冷却器108和加热器110来调整从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流的温度。

在该图12所示的温度调整装置中，经压缩机100压缩后的高温热介质利用三通阀102分配给冷却流路和加热流路。分配给冷却流路侧的高温热介质在冷凝器104中被冷却。该被冷却的热介质利用膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给。在冷却器108中，一边冷却从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流一边吸热升温的热介质朝压缩机100供给。

另一方面，分配给加热流路侧的高温热介质朝加热器110供给，对经冷却器108冷却后的作为温度调整对象的气流进行加热，从而将其调整成期望的温度。这样，在加热器110中，一边加热作为温度调整对象的气流一边散热降温的热介质流过膨胀阀106和冷却器108而朝压缩机100供给。

专利文献1：日本专利特开昭51-97048号公报

在图12所示的温度调整装置中，由于经压缩机100压缩后的高温热介质全部流过膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给，因此，冷却从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流的冷却能量是一定的。

另一方面，通过调整由三通阀102分配给加热流路侧的高温热介质的流量，能调整加热器110对经冷却器108冷却后的作为温度调整对象的气流的加热量。

因此，能调整流过冷却器108和加热器110的作为温度调整对象的气流的温度，能以较窄的温度范围来进行空间单元内的温度管理。

但是，在图12所示的温度调整装置中，由于经压缩机100压缩后的高温热介质全部流过膨胀阀106以隔热的方式膨胀而被冷却，然后朝冷却器108供给，因此，对从风扇112吹出的作为温度调整对象的气流进行的温度调整是通过专门朝加热器110供给的经压缩机100压缩后的高温热介质的再次加热来进行的。

因此，在图12所示的温度调整装置所采用的温度控制方式中，加热中使用的热介质也流入冷却流路，能加热的热量仅仅是压缩机的动力产生的热量，很难应对冷却器108和加热器110的负载变动。

因此，在大幅度提高流过冷却器108和加热器110的作为温度调整对象的气流的设定温度时，作为温度调整对象的气流的温度有时达不到设定温度，或者达到设定温度很耗费时间。

为了弥补这样的、图12所示的温度调整装置的加热量不足，如图13所示，可考虑设置辅助电加热器114，但很浪费能量。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种对温度进行精密调整的装置，采用该对温度进行精密调整的装置时，能解决以往的温度调整装置中存在的对作为温度调整对象的流体的加热能力不足、需要设置辅助电加热器等辅助加热装置的问题，提高对温度调整对象的流体的加热能力，并能实现节省能量。

为了解决上述问题，本发明人等认为设置冷却流路和加热流路、设置能对流过冷却流路的冷却装置和加热流路的加热装置的作为温度调整对象的流体的冷却量和加热量进行变更的分配装置、以及为提高加热流路的加热能力而设置能从低温的部分朝温度较高的部分移动热量的热泵装置是有效的，通过研究，得到了本发明。