[发明专利]通过激光束加工材料的装置

权利要求书

1.一种利用激光束加工工件的表面的激光加工装置，该激光加工装置 包括：

用于发射激光束的激光束发生单元；以及

具有多个微镜的微镜器件，所述多个微镜被配置成以将所述工件的表面 加工成所需形状的模式，将从所述激光束发生单元发射的激光束中的至少一 部分激光束反射和传递到所述工件的表面，

其中，所述微镜器件中的每个微镜有选择地转换由所述激光束发生单元 发射的激光束的光路，

所述微镜器件通过转换与要被加工的工件表面的区域相对应的微镜中 的部分微镜的光路，来控制照射到需要加工的工件表面的区域的激光束的功 率。

2.一种利用激光束加工工件的表面的激光加工装置，该激光加工装置 包括：

用于发射激光束的激光束发生单元；以及

具有多个微镜的微镜器件，所述多个微镜被配置成以将所述工件的表面 加工成所需形状的模式，将从所述激光束发生单元发射的激光束中的至少一 部分激光束反射和传递到所述工件的表面，

其中，所述微镜有选择地转换由所述激光束发生单元发射的激光束的光 路，

所述微镜器件通过控制所述微镜的光路转换时间的长度来控制由一个 微镜所照射的激光束的功率。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，对所述微镜器件 中的微镜的一端上施加电压，从而在所述微镜所能处的两个位置中选择一个 位置，以使得所述微镜在两个光路之间有选择地转换所需要的光路。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其中，所述微镜器件是 数字微镜器件，所述微镜器件通过半导体开关电路来选择所需要的光路。

5.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，所述微镜器件通过控 制单位时间内的微镜的光路转换次数来控制要被加工的工件表面的加工深 度。

6.根据权利要求1到2中的任何一项权利要求所述的激光加工装置， 该激光加工装置进一步包括辅助光束发生单元，该辅助光束发生单元与所述 激光束发生单元的光路分离地设置以用于产生辅助光束，从而能够观察需要 被加工的工件表面。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，该激光加工装置进一步包括 分色镜，用于使由所述辅助光束发生单元发射的辅助光束的光路与由所述激 光束发生单元发射的激光束的光路相同。