[发明专利]线栅波导

权利要求书

1.一种波导(1)，包括：

波引导介质(12)，其限定要在所述波引导介质中引导的波的衍射极限，具有一定折射率并且在第一和第二波反射平面结构之间被提供，其中

至少所述第一平面结构(14，15)形成多个孔径，所述孔径具有小于衍射极限的最小平面内孔径尺寸；并且其中

所述第一平面结构(14)设置在所述波引导介质(12)与具有等于或大于波引导介质的折射率的相邻介质(12)之间。

2.依照权利要求1的波导，其中所述孔径限定了最大的平面内孔径尺寸；其中所述最大的平面内孔径尺寸小于衍射极限。

3.依照权利要求1的波导，其中所述孔径限定了最大的平面内孔径尺寸；其中所述最大的平面内孔径尺寸大于衍射极限。

4.依照权利要求3的波导，其中所述第二平面结构形成多个第二孔径，所述第二孔径限定了最小的第二平面内孔径尺寸；其中所述最小的第二平面内孔径尺寸小于衍射极限。

5.依照权利要求4的波导，其中所述第二孔径限定了最大的第二平面内孔径尺寸；其中所述最大的第二平面内孔径尺寸大于衍射极限并且与所述最大的第一平面内孔径尺寸平行地被提供。

6.依照权利要求1的波导，其中形成所述孔径的所述平面结构包括在衬底(13)上提供的不透明介质。

7.依照权利要求6的波导，其中所述波引导介质(12)与所述相邻介质等同以形成周围介质(12)；并且其中所述衬底(13)对于所述周围介质可渗透，以提供由所述衬底支撑的自由平面结构。

8.依照权利要求7的波导，其中所述平面结构中的所述孔径限定了最大的平面内孔径尺寸并且其中在所述衬底上提供了狭槽(61)，其限定了相对于最大的孔径尺寸横向取向的最大狭槽尺寸并且支撑所述平面结构(14，15)。

9.依照权利要求7的波导，其中介质馈送单元被设置成在相对于所述平面结构的横向方向上馈送所述介质。

10.依照权利要求1的波导，还包括限制介质(32)，其将所述传播的波(101)限制在限于所述波导中的传播方向的横向方向上的区域中。

11.依照权利要求1的波导，还包括将所述传播的波(101)反射到波导1中的传播方向上的反射器(41，42)。

12.依照权利要求11的波导，其中所述反射器(41，42)对于波长与所述传播的波不同的辐射(201)可选择性地透射。

13.一种传感器(500)，包括依照权利要求1的波导(1)，并且还包括：

辐射源，其被设置成提供通过所述波导传播的激发辐射(101)；以及

检测器(21，22)，其被配置成从与所述波导(1)中的所述激发辐射(101)相互作用的粒子(10b)接收辐射(201，202)。

14.一种依照权利要求13的发光传感器(500)。

15.依照权利要求14的发光传感器，所述波导对于所述平面结构(14，15)横向的介质馈送流(12)是可渗透的；该介质包括发光体(10a，10b，10c)；并且所述检测器(21，22)被设置成从所述平面结构横向的方向接收来自所述发光体的发光辐射。

16.依照权利要求14的发光传感器，被设置成提供与所述平面结构(14，15)平行的介质馈送流；所述介质(12)包括发光体(10b)；并且所述检测器(24)被设置成在平行于所述平面结构的方向接收来自所述发光体的发光辐射(201)。

17.依照权利要求16的发光传感器，所述传感器设有激发辐射阻挡器(25)。