[发明专利]激光束传送系统和方法及使用该系统和方法的激光剥离法

权利要求书

1.一种激光束传送系统，包括：

激光束源，用于射出激光束；

光束均化器，用于提高所述激光束的能量强度的均匀性，所述光束均化 器包括第一微透镜型复眼透镜，用于将从所述激光束源射出的所述激光束划 分为多个细光束，第二微透镜型复眼透镜，用于调节所述多个细光束的散射 角度，和聚光透镜，用于聚合所述多个散射角度被调节的细光束；

遮盖，用于遮蔽已穿透光束均化器的所述激光束在焦平面处的截面的外 围区域；

成像透镜，用于将所述激光束施加到目标的单位照射区域；以及

场透镜，所述场透镜在所述光束均化器与所述遮盖之间，用于调节所述 光束均化器与所述遮盖之间的距离。

2.如权利要求1所述的激光束传送系统，其中，所述第一和第二复眼透 镜的节距为0.5至2.0mm。

3.如权利要求1所述的激光束传送系统，其中，每一个所述第一和第二 复眼透镜是具有水平长度和垂直长度的矩形，其中所述水平长度与所述垂直 长度之比与所述激光束的所述截面的水平长度与垂直长度之比基本相等。

4.如权利要求1所述的激光束传送系统，其中，所述第一和第二复眼透 镜的焦距分别为f_LA1和f_LA2，所述第一和第二复眼透镜之间的距离大于f_LA1但小于f_LA1+f_LA2。

5.如权利要求1所述的激光束传送系统，其中，激光束为KrF准分子激 光束或ArF准分子激光束。

6.如权利要求1所述的激光束传送系统，进一步包括用于调节从所述激 光束源射出的所述激光束的能量的衰减器。

7.一种用于传送激光束的方法，包括：

射出准分子激光束；

利用微透镜型复眼透镜将所述射出的准分子激光束划分为多个细光束；

调节所述多个细光束的散射角度；

聚合所述多个散射角度被调节的细光束，从而产生被均化的激光束；

调节所述多个散射角度被调节的细光束聚合的位置；

遮蔽所述经均化的激光束的外围区域；以及

将所述经遮蔽的激光束施加到目标。

8.如权利要求7所述的方法，其中，所述激光束是KrF准分子激光束或 ArF准分子激光束。

9.如权利要求7所述的方法，其中，所述射出的激光束被划分为至少230 个细光束。

10.如权利要求7所述的方法，其中，施加所述经遮蔽的激光束包括汇 聚所述经遮蔽的激光束以便精确地将所述激光束施加到所述目标的单位照射 区域。

11.如权利要求7所述的方法，其中，所述准分子激光束以脉冲形式射 出。

12.一种激光束剥离方法，包括：

在蓝宝石衬底上形成GaN基外延层；

射出准分子激光束；

利用微透镜型复眼透镜将所述射出的准分子激光束划分为多个细光束；

调节所述多个细光束的散射角度；

聚合所述多个散射角度被调节的细光束，从而产生被均化的激光束；

调节所述多个散射角度被调节的细光束聚合的位置；

遮蔽所述经均化的激光束的外围区域；

将所述经遮蔽的均化激光束施加到所述蓝宝石衬底的单位照射区域；以 及

从所述GaN基外延层分离所述蓝宝石衬底。

13.如权利要求12所述的方法，其中，进一步包括将所述蓝宝石衬底物 理地从所述GaN基外延层分离。

14.如权利要求12所述的方法，其中，所述准分子激光束以脉冲形式射 出。