[发明专利]微机械多轴加速度传感器

权利要求书

1.一种微机械加速度传感器，其包括基底(1)、平行于基底平面延伸 的弹性薄膜(5)和振动质量(6)，弹性薄膜(5)部分地与基底连接并且 具有能够垂直于基底平面偏移的平面区域，振动质量(6)的重心位于弹性 薄膜(5)平面之外，其中，振动质量(6)隔开距离地在基底区域上方延 伸，这些基底区域位于弹性薄膜(5)区域之外并且具有由多个电极(3a， 3b，3c，3d)组成的装置，这些电极(3a，3b，3c，3d)分别与振动质量 (6)的对置区域在电路技术上构成电容器，并且振动质量(6)在其中心 区域在弹性薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域中固定在弹性 薄膜(5)上。

2.如权利要求1所述的微机械加速度传感器，其特征在于，振动质量 (6)和在电极(3a，3b，3c，3d)和振动质量(6)的对置区域之间的重 叠区域具有至少两条平行于基底平面的沿检测方向(x，y)的对称轴线(13， 14)。

3.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，电极 (3a，3b，3c，3d)径向对称地围绕振动质量(6)的固定区域设置。

4.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，弹性 薄膜(5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域、在其中振动质量(6) 固定在弹性薄膜(5)上的平面区域、振动质量(6)和电极装置分别具有 至少两个平行于基底平面的沿检测方向(x，y)的对称轴线，其中，这些 对称轴线的交点垂直于基底平面上下叠置。

5.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，所述 多个电极为四个电极(3a，3b，3c，3d)并且这四个电极在弹性薄膜(5) 之外设置在基底(1)上。

6.如权利要求5所述的微机械加速度传感器，其特征在于，四个电极 (3a，3b，3c，3d)径向对称地设置。

7.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，振动 质量(6)包括平行于基底(1)延伸的平板(7)。

8.如权利要求7所述的微机械加速度传感器，其特征在于，弹性薄膜 (5)的能够垂直于基底平面偏移的平面区域、在其中振动质量(6)固定 在弹性薄膜(5)上的平面区域和振动质量(6)的平行于基底(1)延伸的 平板(7)都径向对称地围绕一中心区域设置，弹性薄膜(5)在该中心区 域中与基底(1)连接。

9.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，振动 质量(6)在其中心区域中具有环形的沟道(10)，该沟道(10)通到弹性 薄膜(5)的穿孔区域。

10.如权利要求1或2所述的微机械加速度传感器，其特征在于，基 准电极(18a，18b，18c，18d)在几何形状上与电极装置(3a，3b，3c， 3d)一致地构造并且侧向错置地设置在振动质量(6)区域之外。