[发明专利]压电阀

权利要求书

1.一种压电阀，包括：具有开闭流路口的阀体；由板状的压电元件构成的阀芯，该压电元件随着外加电压而沿板厚方向弯曲变位，并利用该弯曲变位开闭所述开闭流路口，所述压电阀的特征在于，

所述压电元件的两端部或外周部被固定保持在所述阀体上，

所述压电元件具有中央侧或中心侧的第一区域和两端侧或周边侧的第二区域，

利用对所述压电元件外加的电压使所述第一区域和所述第二区域向反方向弯曲变位，

所述压电元件形成长方形，

所述压电元件的长度方向两端部被固定保持在所述阀体上，

在所述压电元件的宽度方向两侧部和所述阀体之间设有流体的连通部，

所述压电元件的表面侧的区域和背面侧的区域经由所述连通部连通，

所述阀体包括：比所述压电元件宽度宽的长方形平板状的底板、配置在所述底板的上表面且内部宽度尺寸比压电元件宽度宽的长方形框状的第一框体、配置在所述第一框体的宽度方向两侧部的上表面且具有与压电元件厚度同等厚度的一对压板、配置在所述压电元件及压板的上表面且与第一框体相同形状的第二框体、配置在所述第二框体的上表面的顶板，

所述压电元件的长度方向两端部由所述第一框体及第二框体的长度方向两端部夹持，

所述底板、第一框体、压电元件、压板、第二框体和顶板层叠粘接，在所述底板和顶板之间形成压电元件能够变位的阀室。

2.根据权利要求1所述的压电阀，其特征在于，

所述第一区域形成在没有固定在阀体上的压电元件部分的长度方向中央部，所述第二区域形成在比第一区域更靠压电元件的长度方向两端部侧的位置，所述第一区域开闭所述开闭流路口。

3.根据权利要求1或2所述的压电阀，其特征在于，

在所述压电元件的长度方向两端部且比所述第二区域更靠长度方向端部侧形成有不会自发弯曲变形的中性区域，所述中性区域被固定保持在所述阀体上。

4.根据权利要求1或2所述的压电阀，其特征在于，

至少面对所述阀体的流通流体的空间的所述压电元件的表面由实质上不会束缚压电元件的变位的保护膜覆盖。

5.根据权利要求3所述的压电阀，其特征在于，

至少面对所述阀体的流通流体的空间的所述压电元件的表面由实质上不会束缚压电元件的变位的保护膜覆盖。

6.根据权利要求4所述的压电阀，其特征在于，

所述保护膜由将压电元件夹在中间接合在一起的上下一对薄膜构成，在沿着所述压电元件的宽度方向两侧部的所述薄膜的部位形成有构成所述连通部的缝隙，所述薄膜的外周部被夹持在所述压板和第二框体之间。

7.根据权利要求5所述的压电阀，其特征在于，

所述保护膜由将压电元件夹在中间接合在一起的上下一对薄膜构成，在沿着所述压电元件的宽度方向两侧部的所述薄膜的部位形成有构成所述连通部的缝隙，所述薄膜的外周部被夹持在所述压板和第二框体之间。

8.根据权利要求1或2所述的压电阀，其特征在于，

所述阀体包括：比所述压电元件宽度宽的长方形平板状的底板、配置在所述底板上且内部宽度尺寸比压电元件宽度宽的长方形框状的第一框体、配置在所述第一框体上与底板形成相同形状且在沿着压电元件的宽度方向两侧部的部位形成有一对缝隙的第一保护板、配置在所述第一保护板的中央部上表面的压电元件、在所述第一保护板上与压电元件的宽度方向两侧部邻接配置的具有与所述缝隙对应的缝隙且具有与压电元件厚度同等厚度的一对压板、配置在所述压电元件及压板上的与所述第一保护板相同形状的第二保护板、配置在所述第二保护板上的与所述第一框体相同形状的第二框体、配置在所述第二框体上的顶板，

所述压电元件的长度方向两端部隔着所述第一、第二保护板由所述第一框体及第二框体的长度方向两端部夹持，

所述底板、第一框体、第一保护板、压电元件、压板、第二保护板、第二框体和顶板依次层叠接合。

9.根据权利要求3所述的压电阀，其特征在于，

所述阀体包括：比所述压电元件宽度宽的长方形平板状的底板、配置在所述底板上且内部宽度尺寸比压电元件宽度宽的长方形框状的第一框体、配置在所述第一框体上与底板形成相同形状且在沿着压电元件的宽度方向两侧部的部位形成有一对缝隙的第一保护板、配置在所述第一保护板的中央部上表面的压电元件、在所述第一保护板上与压电元件的宽度方向两侧部邻接配置的具有与所述缝隙对应的缝隙且具有与压电元件厚度同等厚度的一对压板、配置在所述压电元件及压板上的与所述第一保护板相同形状的第二保护板、配置在所述第二保护板上的与所述第一框体相同形状的第二框体、配置在所述第二框体上的顶板，

所述压电元件的长度方向两端部隔着所述第一、第二保护板由所述第一框体及第二框体的长度方向两端部夹持，

所述底板、第一框体、第一保护板、压电元件、压板、第二保护板、第二框体和顶板依次层叠接合。