[发明专利]模块化玻璃基准板组装件

权利要求书

1.一种用于测量产品玻璃的光学扭曲的模块化玻璃基准板组装件，其包括：

用于接受基材的基本上连续的顶表面；以及

排成阵列并将每个玻璃基准板格与至少一个相邻玻璃基准板格粘合起来形成 所述顶表面的多个玻璃基准板格，和

相互粘合在一起的相邻玻璃基准板格之间形成至少一个界面，每个界面包含 位于顶表面下方、用于放置粘合剂的空隙。

2.如权利要求1所述的组装件，其还包含沿着界面的可紫外固化的粘合剂， 用于将相邻玻璃基准板格粘合在一起。

3.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，所述界面包含具有下搭接连接 件和上搭接连接件的搭接件，使得上搭接连接件可叠在下搭接连接件上，形成界面 和空隙。

4.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，所述多个玻璃基准板格包含孔， 用于调节顶表面上方的空气压力。

5.如权利要求4所述的组装件，其特征在于，所述调节包括提供气垫以浮起 基材和提供真空以将基材紧紧固定于顶表面中的至少一个操作。

6.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，一个或多个玻璃基准板格在其 底表面包含不透明和/或反射涂层。

7.如权利要求6所述的组装件，其特征在于，不透明和/或反射涂层包括铝 涂层。

8.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，

每个玻璃基准板格是矩形的；以及

相邻玻璃基准板格阵列包括横向4个板格和纵向4个板格的矩形排布。

9.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，所述多个玻璃基准板格包含热 膨胀系数类似于基材的玻璃。

10.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，所述多个玻璃基准板格包含 至少顶面经过研磨和抛光的硼硅酸盐玻璃。

11.如权利要求1所述的组装件，其特征在于，所述多个玻璃基准板格中的 一个或多个在其顶面和底面中的至少一个上包含参考标记。