[发明专利]保持元件之间的光学关系的干涉仪

权利要求书

1.一种傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，包括：

固定组件，其包括相互固定地定位的外壳、分束器、以及镜子；

活动组件，其包括相互固定地定位的外壳、镜子、以及电动机线 圈；

第一板簧，其具有用于为经过其中的射线提供无障碍光学路径的 开口，所述第一板簧的第一端固定到所述固定组件，并且所述第一板 簧的第二端固定到所述活动组件，用于经由所述第一板簧为所述活动 组件提供相对于所述固定组件的运动；

第二板簧，其用于为所述活动组件的镜子和所述电动机线圈中的 至少一个提供间隙，所述第二板簧的第一端固定到所述固定组件，所 述第二板簧的第二端固定到所述活动组件，第一和第二板簧与所述固 定组件和所述活动组件共同协作，以将所述分束器和所述活动组件的 镜子之间的光学关系保持成独立于所述活动组件和所述固定组件之 间的距离，所述活动组件的镜子的表面不会随所述活动组件相对于所 述固定组件的平移而出现角度偏转；而且

所述分束器、所述固定组件的镜子和所述活动组件的镜子在其各 自平的情况下位于包含所述第一和第二板簧的平面之间的空间中。

2.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，当所述分束器的表面角度相对于所述活动组件的镜子的表 面角度被保持时，所述分束器和所述活动组件的镜子之间的光学关系 被满足。

3.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，当从所述分束器射向所述活动组件的镜子的光束角度相对 于所述活动组件的镜子的表面保持预定角度时，所述分束器和所述活 动组件的镜子之间的光学关系被满足。

4.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，所述第二板簧具有与所述第一板簧的开口尺寸、形状和厚 度大致相等的开口。

5.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于：

所述第一和第二板簧限制所述活动组件相对于所述固定组件的 运动；以及

所述活动组件受限制的运动保持包含所述活动组件的镜子的平 面平行于在各自所述活动组件和固定组件之间的距离上包含所述活 动组件的镜子的所有平面。

6.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，进一步包括：

将所述第一板簧固定到所述固定组件的外壳并固定到所述活动 组件的外壳的装置。

7.根据权利要求6所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，进一步包括：

将所述第二板簧固定到所述固定组件的外壳并固定到所述活动 组件的外壳的装置。

8.根据权利要求7所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，所述固定组件的外壳、所述活动组件的外壳、所述第一和 第二板簧、固定所述第一板簧的装置以及固定所述第二板簧的装置是 钢的。

9.根据权利要求7所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，所述固定组件的外壳、所述活动组件的外壳、所述第一和 第二板簧、固定所述第一板簧的装置以及固定所述第二板簧的装置是 钛的。

10.根据权利要求1所述的傅里叶变换红外光谱仪的干涉仪，其 特征在于，所述固定组件的镜子和所述活动组件的镜子都包括用于在 红外范围内提高反射率的金属化薄膜。