[发明专利]电镀卷式柔性太阳能电池基板的方法与设备

权利要求书

1.一种在一柔性太阳能电池基板上形成一金属层的设备，包含：

一第一处理腔室，该第一处理腔室包含：

一电极，其与一电源为电连通；

一第一柔性基板组件，其包含：

一第一支撑物，适于固持一柔性基板的一部分；和

一第一致动器，其与所述第一支撑物相连且适于将所述柔性基板的一金属化表面放置在紧邻所述电极的一欲求位置处；

一个或多个电子接点，其与所述电源为电连通；和

一推板，其适于促进所述柔性基板的金属化表面抵靠着所述接点；和

一第二处理腔室，该第二处理腔室包含：

一致动器，该致动器被构造用于促进一内连滚筒的一区域抵靠着所述金属化表面的一区域，其中所述内连滚筒的该区域包含一导电金属层；和

一加热元件，该加热元件被构造用于传递热能到所述内连滚筒的该区域和所述金属化表面的该区域。

2.根据权利要求1所述的设备，更包含一掩膜板，其具有一主体、一第一表面、一第二表面和延伸穿过介于所述第一表面与所述第二表面的所述主体的一孔，其中所述推板更适于促进所述金属化表面抵靠着所述掩膜板的所述第一表面，而且其中所述多个电子接点设置在所述第一表面上并且电连接到一电源。

3.根据权利要求2所述的设备，更包含一泵，其适于传送一电解液到形成在被所述孔暴露出来的一部分所述金属化表面与所述电极之间的空间内。

4.根据权利要求2所述的设备，其中所述掩膜板包含：

一第一区域，该第一区域与所述第一表面相邻并且包含一聚合性材料；和

一第二区域，该第二区域包含一选自下列的材料：玻璃、塑料及陶瓷。

5.根据权利要求2所述的设备，其中所述掩膜板更包括多个孔，其中在所述第一表面上的所述多个孔的截面积总和占与所述金属化表面接触的所述掩膜板部分的表面积的0.5％至95％间。

6.根据权利要求1所述的设备，更包含： 

一第一流体源，其适于传输一含有铜离子的电解液到所述金属化表面与所述电极；和

一第二流体源，其适于传输一含有金属离子的电解液到所述金属化表面与所述电极，其中所述金属离子是选自银、镍、锌或锡。

7.根据权利要求1所述的设备，更包含：

一第三处理腔室，其适于沉积一第一金属层到所述柔性基板的表面上，其中所述第一金属层是利用一选自下列的工艺形成的：无电沉积工艺、物理气相沉积工艺、化学气相沉积工艺及蒸发式工艺；和

其中所述第一处理腔室适于形成一第二金属层到所述第一金属层上，且其中所述柔性基板组件中的致动器适于将所述柔性基板的一部分放置在所述第一及第三处理腔室内的一欲求位置处。

8.根据权利要求7所述的设备，更包含一清洁腔室，其适于传输一清洁液体到所述柔性基板的一表面上。

9.根据权利要求1所述的设备，更包含：

其中所述第一处理腔室适于沉积一第一金属层到一第一柔性基板的一表面上；和

一第二柔性基板支撑组件，包含：

一第二支撑物，适于固持一第二柔性基板的一部分；和

一第二致动器，其与所述第二支撑物相连且适于将所述第二柔性基板的一部分放置在所述处理腔室内的一欲求位置处；及

一第三致动器，其适于促进所述第一柔性基板的一部分抵靠着所述第二柔性基板的一部分，使得形成在所述第一柔性基板上的一导电区域可与形成在所述第二柔性基板上的一导电区域形成一电子接点。

10.根据权利要求9所述的设备，更包括一热源，其位置适于在所述第三致动器促使形成在所述第一柔性基板上的所述导电区域与形成在所述第二柔性基板上的所述导电区域彼此形成一电子接点之前，传输一能量到形成在所述第一柔性基板与所述第二柔性基板的所述导电区域上。

11.根据权利要求7所述的设备，其中所述第一金属层是利用一无电沉积工艺形成的。