[发明专利]捆包用缓冲体和包装体

说明书

技术领域

本发明涉及对精密基板收纳容器进行捆包时所使用的捆包用缓冲体以及具备该缓冲体的包装体。上述精密基板收纳容器用于收纳在生产晶体管或二极管等半导体元件、存储器或LSI等的半导体电路部件、CCD或半导体激光器等的光学回路部件等时所使用的硅、玻璃、化合物、氧化物等的各种晶圆、半导体晶圆、光罩玻璃、薄膜、液晶玻璃、或者是由铝和玻璃等构成的硬盘基板或光盘等信息存储介质等的精密基板。

背景技术

作为在运送精密基板中所使用的精密基板收纳容器，例如有专利文献1所公开的精密基板收纳容器。在该精密基板收纳容器中，为了保护所收纳的精密基板，使用了由左右方向向内侧较深延伸的保持器。作为安全地运送这种精密基板收纳容器中所使用的包装体，例如有专利文献2和专利文献3所公开的包装体。这些包装体使用了配置在精密基板收纳容器的上部和下部的一组缓冲体。在这些各缓冲体中设置有用于收纳精密基板收纳容器的收纳部。另外，在专利文献4中公开了使用泡沫材料而成型的缓冲体。

作为安全地运送精密基板的要件，对包装体要求：当使捆包精密基板收纳容器的包装体自然落下时，不会对包装体所收纳的精密基板收纳容器和精密基板产生破损等异常的落下高度在1.0m以上，优选在1.5m以上。

上述专利文献1中所记载的精密基板收纳容器适合用于保护精密基板。但是，存在如下问题：必须要有自动地进行盖体的安装或卸下的专用装置；因具有大的保持器，从容器主体卸下盖体时，需要大的行程；必须额外地准备盖体开闭装置的设置空间等。为了解决上述问题，开发了卸下盖体时的拔取行程与在器件制造工序内所使用的收纳容器相等，而且能够使用以SEMI规格E62、E63等标准化的盖体开闭装置的精密基板收纳容器(参照专利文献5)。但是，在该精密基板收纳容器中，保持器对精密基板的保持范围被限定在中央部分，保持精密基板的行程也小。因此，将这种精密基板收纳容器捆包于上述专利文献2～4所公开的现有包装体中时，无法充分地吸收落下时的冲击，特别是包装体的角部与棱线部受落下时的冲击所造成的损伤会变大。具体来说，落下高度达到0.8m以上时，精密基板将破损，碎片会增加。因此，无法将现有的包装体用于运输。

专利文献1：特开2000-159288号公报

专利文献2：特开平7-307378号公报

专利文献3：特开2002-160769号公报

专利文献4：特开2004-168324号公报

专利文献5：特开2003-174081号公报

因此，为了强化上述现有的包装体，例如考虑使用泡沫苯乙烯和聚氨酯泡沫等作为缓冲材料。但是，泡沫苯乙烯和聚氨酯泡沫等一般来说容易变得体积大，包装体的尺寸也会增大。因此，需要大的保管空间和运送空间，会有工厂的空间效率变差、使用后回收缓冲体的运送费用增加的问题。另外，在由泡沫苯乙烯构成缓冲体的情况下，因为端部容易破损，被微细粉碎的破片可能会污染工厂的无尘室；而在由聚氨酯泡沫构成缓冲体的情况下，虽然不易破损，但是因为泡沫开口露出在表面，有容易积存污染物等的问题。另外，因为上述问题，再利用和回收也会有问题。因此，使用泡沫苯乙烯和聚氨酯泡沫等作为缓冲材料还是有困难。

发明内容

因此，本发明为了解决上述课题，提供一种捆包用缓冲体和包装体，可以有效地吸收落下时的冲击。

本发明的捆包用缓冲体为在将收纳精密基板的精密基板收纳容器捆包到包装体时，配置在精密基板收纳容器的上部和/或下部的捆包用缓冲体，其特征在于，捆包用缓冲体包括：在进行捆包时覆盖精密基板收纳容器的上面或下面的底部、从底部的外周缘直立而隆起的外周壁和形成在外周壁上的加强部；底部包括：能够与精密基板收纳容器的上面或下面相抵接的抵接部和形成于抵接部的外周、且相对于精密基板收纳容器形成在离开抵接部的位置上的外周底部；在抵接部和外周底部之间形成有阶梯部。

根据本发明，在捆包时与精密基板收纳容器相抵接的抵接部与从具有该抵接部的底部的外周缘直立而隆起的外周壁之间，形成有在相对于精密基板收纳容器离开抵接部的位置上形成有外周底部，在该外周底部和抵接部之间形成有阶梯部。由此，在从外部受到冲击时，阶梯部垮塌，抵接部相对于外周壁适当地移动，可以有效地吸收冲击。因此，可以防止大的冲击瞬间性地施加到精密基板收纳容器的情况，可以有效地缓冲落下冲击。

在本发明的捆包用缓冲体中，优选加强部为波纹部。或者，也可以使加强部的剖面形状为圆弧的凹部或凸部。

在本发明的捆包用缓冲体中，优选抵接部为从外周底部向着精密基板收纳容器凸出的底座部。