[发明专利]从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的铟的回收方法及其装置，更详细地讲，涉及从在例如液晶显示器、等离子显示器等的平板显示器的制造过程中发生的蚀刻废液中，以合金或金属单质等形式回收有价值物质铟(In)的方法和装置。

背景技术

液晶显示器、等离子显示器等的平板显示器(FPD)，近年较多地用于计算机的显示器、电视显像器、便携式电话的显示部等的各种电子设备。在这样的FPD的制造过程中，当然会产生废液，在必须处理这样的废液方面，不仅经营这样的FPD的液晶制造厂，而且与半导体制造厂、镀敷工厂的情况也同样。并且，在这样的FPD的制造过程中发生的废液之一，有含有铟和氯化铁的蚀刻废液。

一般地，产业废液中往往含有种种的金属，进行上述FPD的制造等的液晶制造厂废液中含有In等，半导体制造厂废液中含有铜(Cu)、镓(Ga)等，镀敷工厂废液中含有镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)等，正尝试将它们以作为有价值物质的金属单质的形式回收。如果能够将它们以金属单质或合金的形式回收，则能够将这些金属进行再利用等。

作为回收重金属类的废液处理技术，过去一般采用使用药剂的凝聚沉淀处理、共沉处理等，在浓度低时，也使用吸附剂除去金属类。例如作为利用使用药剂的凝聚沉淀处理的技术，有下述专利文献1涉及的发明。

然而，对上述的含有铟和氯化铁的蚀刻废液使用上述的凝聚沉淀处理的场合，虽然能够以氢氧化铟形式进行回收，但氯化铁也以氢氧化物形式沉淀，作为整体来讲存在氢氧化物渣滓的发生量增多的问题。而且由于大部分成为含铁的渣滓的状态，因此也存在未变成有价值物质的问题。

另一方面，作为有关从含有铟和氯化铁的蚀刻废液除去铟的方法和回收方法的现有技术，本发明者们检索的结果，唯一存在下述专利文献2所述的专利申情。即，该专利文献2涉及的发明，如其权利要求1所述的那样，是一种铟的除去、回收方法，该方法的特征在于，向含有铟和氯化铁的蚀刻废液添加铁、镍化合物。

另外，关于具体的回收手段，在该专利文献2的说明书的段落[0022]中记载了：“向该废液中添加镍化合物，加入铁进行搅拌加热，使镍析出并使铟析出。由此，能够从该废液除去铟。即，能够从沉淀物回收铟，…”，而且，在段落[0023]中记载了：“向含有铟和氯化铁的蚀刻废液添加铁从而析出的铟和镍等所组成的混合物附着在铁上，因此作为沉淀物能够简单地从溶液中分离。作为该沉淀物的分离方法，可举出重力式沉降、过滤、利用旋风器等的离心力的方法。”。

由这些记载来判断，在专利文献2的方法中，通过添加镍离子而引起镍的析出反应，伴随该析出反应而发生铟的析出反应，因此所回收的铟合金中，铟浓度非常低，作为以镍为主体的合金而回收，然而，专利文献2中对于回收的铟合金的分离手段等没有记载。因此，该专利文献2的方法，即使能够作为从废液除去铟的技术来利用，也未必可确认能够有效用作为将铟作为有价值物质进行回收的技术。

专利文献1：日本国特开2005-342694号公报

专利文献2：日本国特开2004-75463号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的问题而完成的研究，其课题是提供不需要象过去那样以氢氧化铟的状态进行回收，并且在回收时也没有如氢氧化铟的情况那样的操作的不良，能够使用过滤器等容易地进行回收，而且铟的回收率显著地良好的铟的回收方法和装置。

本发明为了解决上述的课题，提供从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置，作为铟的回收方法的特征是：该方法是从至少含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收方法，将形成为在三维上呈现的任一部分的径均为2.5～10mm的立体的、由锌构成的析出用金属浸渍在蚀刻废液中并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，使上述蚀刻废液中含有的铟析出于上述析出用金属的表面，将析出于该析出用金属的表面的铟剥离并回收。

另外，作为铟的回收装置的特征是：该回收装置是从至少含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收装置，具有：

反应槽(1)，其容纳蚀刻废液，将形成为在三维上呈现的任一部分的径均为2.5～10mm的立体的、由锌构成的析出用金属浸渍在该蚀刻废液中并静置，利用锌与铟的离子化倾向的差异，产生使上述蚀刻废液中含有的铟在上述析出用金属的表面析出的反应；和

剥离装置，其从上述析出用金属剥离析出于上述析出用金属的表面的铟。