[发明专利]电子束描绘设备及其台架机构

权利要求书

1.一种台架机构，该台架机构包括：定位机构，该定位机构包括旋 转台架和线性运动台架，所述旋转台架具有回转台，所述线性运动台架 使所述旋转台架线性运动以定位；真空室，该真空室容纳所述定位机构； 以及至少一个柔性管道，该柔性管道使所述真空室的外部与所述定位机 构的内部连通，其中：

所述真空室具有在所述定位机构下侧的下方伸展的下部空间，并且

所述管道从所述定位机构的表面穿过所述下部空间引到所述真空室 的内壁，

所述管道在中间部分中向下悬垂，而不接触在所述下部空间中所述 真空室的内壁。

2.根据权利要求1所述的台架机构，其中，所述管道的一端联接到 所述定位机构的下侧。

3.根据权利要求1所述的台架机构，其中，所述管道的一端与所述 定位机构的侧表面联接。

4.根据权利要求1所述的台架机构，其中，该台架机构具有多个所 述管道，该台架机构还包括夹具，以彼此分开地夹持所述管道。

5.根据权利要求1所述的台架机构，其中，

所述线性运动台架具有通孔，并且

所述旋转台架插入所述通孔中。

6.一种电子束光刻设备，该电子束光刻设备包括：定位机构，该定 位机构包括旋转台架以及线性运动台架，所述旋转台架具有回转台，所 述线性运动台架使所述旋转台架线性运动以定位；电子束照射装置，该 电子束照射装置将电子束照射在安装于所述旋转台架上的原版盘上，以 形成记录标记；真空室，该真空室容纳所述定位机构；以及至少一个柔 性管道，该柔性管道使所述真空室的外部与所述定位机构的内部连通， 其中：

所述真空室具有在所述定位机构下侧的下方伸展的下部空间，并且

所述管道从所述定位机构的表面穿过所述下部空间引到所述真空室 的内壁，

所述管道在中间部分中向下悬垂，而不接触在所述下部空间中所述 真空室的内壁。