[发明专利]具有抗反射性能的硬掩模组合物及用其图案化材料的方法

权利要求书

1.一种由化学式1表示的含芳香环的聚合物：

其中R₁选自氢、羟基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、C₆-C₁₀芳基、 烯丙基和卤素，R₂选自羟基(-OH)、氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’， 在所述-OR中，R为C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’ 中，R和R’独立地为C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，R₃选自：

并且1＜n＜190。

2.一种由化学式2表示的含芳香环的聚合物：

其中R₁和R₄独立地选自氢、羟基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、 C₆-C₁₀芳基、烯丙基和卤素，R₂和R₅独立地选自羟基(-OH)、 氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’，在所述-OR中，R为C₁-C₁₀烷基 或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’中，R和R’独立地为C₁-C₁₀烷基 或C₆-C₁₀芳基，R₃和R₆独立地选自：

并且m和n满足关系1＜m＜190、1＜n＜190和2＜m+n ＜190。

3.一种由化学式3表示的含芳香环的聚合物：

其中R₁选自氢、羟基(-OH)、C₁-C₁₀烷基、C₆-C₁₀芳基、 烯丙基和卤素，R₂选自羟基(-OH)、氨基(-NH₂)、-OR和-NRR’， 在所述-OR中，R为C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，在所述-NRR’ 中，R和R’独立地为C₁-C₁₀烷基或C₆-C₁₀芳基，R₃和R₅独立 地选自：

R₄选自：

并且m和n满足关系1＜m＜190、1＜n＜190和2＜m+n ＜190。

4.一种按重量计10至90％的根据权利要求1至3中任一项所述 的聚合物和按重量计10至90％的由化学式4表示的含芳香环 的聚合物的聚合物混合物：

其中1＜n＜190。