[发明专利]金属线接合方法和接合力校准有效
申请号: | 200780052994.X | 申请日: | 2007-10-05 |
公开(公告)号: | CN101675510A | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
发明(设计)人: | 胡春龙;J·D·莫尔纳;D·素德;秦巍;E·W·弗拉施;Z·艾哈迈德 | 申请(专利权)人: | 库利克和索夫工业公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K20/00;H01L21/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郝文博;王 琼 |
地址: | 美国宾*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属线 接合 方法 校准 | ||
1.一种确定接合力的方法,所述接合力用于利用金属线接合机将 金属线的一部分接合到接合接触件,该方法包括下列步骤:
(1)移动工具以接触将被金属线接合的装置的接合接触件的一部 分,该工具向接合接触件施加初始的力;
(2)增加由工具施加给接合接触件的该部分的力,直到接合接触 件的该部分被压靠在金属线接合机的装置支撑表面上;和
(3)将施加到接合接触件的该部分的力值存储起来,接合接触件 通过该力被压靠在金属线接合机的装置支撑表面上。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2)包括以一 定增量增大施加给接合接触件的该部分的力,直到接合接触件的该部分 被压靠在金属线接合机的装置支撑表面上。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括以下步骤:在 以一定增量增大施加给接合接触件的该部分的力的步骤的过程中,记录 工具沿着基本竖直轴线的多个位置中的每一个,从而多个位置中的每一 个对应于施加给接合接触件的该部分的力。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括以下步骤:计 算在接合操作过程中将施加给接合接触件的该部分的总的力值,计算的 步骤包括在步骤(2)中增加(a)预定力偏移值到(b)施加给接合接 触件的该部分的接合力,其使得接合接触件的该部分被压靠在金属线接 合机的装置支撑表面上。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)、(2)、(3) 对于接合接触件的多个接合位置重复。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(1)、(2)、(3) 对于将被金属线接合的装置的多个接合接触件重复。
7.一种校准接合力的方法,该接合力将随着金属线接合操作利用 接合工具被施加到多个接触件,该方法包括以下步骤:
(1)收集对于多个接触件中每一个的数据,该数据包括施加到每 个接触件的多个力值以及接合工具的相对应的竖直位置;和
(2)利用在步骤(1)中收集的数据,确定随着金属线接合操作 将施加给每个接触件的接合力,步骤(2)中确定的接合力足以将各个 接触件压靠在金属线接合机的装置支撑表面上。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤(1)包括:对 于多个接触件中的每一个,将接合工具朝着接触件移动并且向接触件施 加接合力。
9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,还包括以下步骤:
(3)在金属线接合操作过程中,对于其中一个接触件,施加在步 骤(2)中确定的接合能量;和
(4)在步骤(3)之后,向所述其中一个接触件施加接合能量, 从而在接触件和从接合工具延伸的金属线的一部分之间形成接合。
10.如权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤(1)中收集的 数据由计算机算法使用以确定步骤(2)中的接合力。
11.如权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤(2)中确定的 接合力对于多个接触件中的每一个都相同。
12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,步骤(2)中确定 的接合力对于多个接触件中的每一个独立地确定。
13.如权利要求7所述的方法,其特征在于,步骤(1)中收集并 且用于在步骤(2)中确定接合力的数据包括与(a)金属线接合机的换 能器的阻抗特性、(b)接合工具的速度、和(c)金属线接合机的换能 器的共振中的至少一个相关的另外的数据值,其中接合工具连接到所述 金属线接合机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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