[发明专利]坐标测量机中由于动态变形而产生的测量误差的补偿

权利要求书

1.一种测量机，包括用于在测量空间中移动测量传感器(3)的 可移动单元(7)，所述可移动单元(7)包括至少一个在驱动 装置(13)的推动下沿着轴线移动的可移动构件(8；12；42； 56)并且所述可移动单元(7)承受动态变形，所述测量机的 特征在于，包括激光传感器(16)，所述激光传感器设置有固 定至可移动构件的第一部分的激光发射器(22)和固定至所述 可移动构件(8；12；42；56)的第二部分且被设计为接收由 所述发射器(22)产生的激光束(26)的目标(28)，在所述 动态变形之后，所述第一部分和第二部分经历相对位移，所述 测量机还包括装置(14)，该装置用于响应所述激光束(26) 在所述目标(28)上的入射点相对于未变形条件下的参考位置 的位移，来补偿由所述可移动单元(7)的所述动态变形而导 致的所述测量机(1)的测量误差。

2.根据权利要求1所述的测量机，其特征在于，所述目标(28) 是位置感应装置。

3.根据权利要求1或2所述的测量机，其特征在于，所述可移动 构件包括梁状元件(10，12，56)，所述发射器(22)和所述 目标(28)设置在所述梁状元件(10)的相对端部。

4.根据权利要求1或2所述的测量机，其特征在于，所述可移动 构件(8)包括至少一个具有第一端和第二端的第一元件(8a) 和具有第一端和第二端的第二元件(8c)，所述第一元件和第 二元件(8a，8c)在与各自的第一端对应的区域中彼此连接， 所述第一元件和第二元件是中空的，所述发射器(22)布置在 所述第二元件(8c)的所述第一端中并固定至刚性支撑件(20)， 所述刚性支撑件相对于所述第一元件(8a)的第二端(9)固 定，所述目标(28)固定至所述第二元件(8c)的所述第二端。

5.根据权利要求1或2所述的测量机，其特征在于，所述激光传 感器(16)容纳在所述可移动构件(8c；56)的内部，所述激 光束(26)延伸穿过所述可移动构件的腔体(24)。

6.根据权利要求4所述的测量机，其特征在于，所述可移动构件 (8)是托架，所述托架能够在底座(5)上移动并具有设置有 两个立柱(8a，8b)和横向构件(8c)的桥式结构，所述托架 的第一立柱(8a)包括能够在所述底座(5)上滑动的电机驱 动的滑块(9)。

7.根据权利要求6所述的测量机，其特征在于，所述第一元件由 所述第一立柱(8a)构成，并且，所述第二元件由所述横向构 件(8c)构成；所述刚性支撑件由杆(20)构成，所述杆在所 述第一立柱(8a)内延伸且具有固定至所述第一立柱(8a)的 所述滑块(9)的底端(20a)和从所述第一立柱伸出并延伸到 所述横向构件(8c)的第一端内的顶端，所述发射器(22)固 定在所述杆(20)的所述顶端上，所述目标设置在所述横向构 件(8c)的内部并处于与所述发射器相对的端部。

8.根据权利要求6所述的测量机，其特征在于，所述第一元件是 所述横向构件(8c)且所述第二元件是第二立柱(8b)，所述 刚性支撑件由在所述横向构件(8c)的纵向腔体(24)内延伸 且一端固定至所述第一立柱(8a)的杆(31)构成，所述发射 器(22)固定至所述杆(31)的相对端，并且所述目标(28) 容纳于所述第二立柱(8b)的底部中。