[发明专利]基板输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种在收纳玻璃基板、液晶基板、PDP基板等基板的 收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输送基板的输送系统。

背景技术

在薄型显示器等制造设备中，玻璃基板等基板被收纳在收纳盒内。 然后，在处理基板时，向处理装置输送基板，若处理结束，则再次被 收纳在收纳盒内。在这样的制造设备中，需要在收纳盒和处理装置之 间输送基板的输送系统。基板的输送系统要求具有与处理装置的基板 的处理能力相应的输送能力。例如，在处理装置的基板的处理能力超 过输送系统的输送能力的情况下，在处理装置中产生等待基板的输送 的时间，制造效率变差。因此，希望输送系统的基板的输送能力超过 处理装置的基板的处理能力。

在日本特开2005-60110号公报中，公开了从多个收纳盒选择性地 向处理装置输送基板的系统。在此系统中，基板的输送能力取决于收 纳盒的数量。因此，例如在将基板在一个收纳盒和处理装置之间进行 输送的情况下，存在基板的输送能力比处理装置的处理能力差的情况。

在日本特开平9-132309号公报中，公开了同时输送多张基板，在 输送的过程中处理多张基板的系统。在此系统中，需要处理装置能够 同时传递多张基板。但是，在薄型显示器等的制造设备中，大多采用 一张一张地进行基板的传递的处理装置。此系统难以适应于采用了一 张一张地进行基板的传递的处理装置的制造设备。另外，在此系统中， 每个收纳盒都需要传送器，传送器的数量增多。

发明内容

本发明的目的是提供一种与一张一张地进行基板的传递的处理装 置对应，使传送器的数量更少，同时，提高了基板的输送能力的基板 输送系统。

根据本发明，提供一种基板输送系统，所述基板输送系统在收纳 基板的第一以及第二收纳盒和对所述基板进行处理的处理装置之间输 送基板，所述处理装置在与所述第一以及第二收纳盒的配置方向正交 的方向与所述第一以及第二收纳盒分离地配置，其特征在于：具备同 时输送传送器、传送器移动组件、个别输送传送器、定位组件，所述 同时输送传送器具有能够在与所述基板的输送方向正交的方向排列地 载置多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向同时输送所述多张所 述基板；所述传送器移动组件在第一位置和第二位置之间在所述配置 方向移动所述同时输送传送器，所述第一位置是在与所述第一收纳盒 之间进行所述基板的移载的位置，所述第二位置是在与所述第二收纳 盒之间进行所述基板的移载的位置；所述个别输送传送器配置在所述 同时输送传送器和所述处理装置之间，具有能够在与所述输送方向正 交的方向排列地载置所述多张所述基板的宽度，能够在所述输送方向 个别地输送所述多张基板；所述定位组件进行所述个别输送传送器上 的所述基板和所述处理装置的定位。

在本发明的基板输送系统中，通过设置了所述同时输送传送器， 能够在基板的输送途中并列输送多张基板，能够提高输送能力。另外， 通过设置了所述传送器移动组件，能够由所述第一收纳盒和所述第二 收纳盒共用所述同时输送传送器。因此，能够使传送器的数量更少。 而且，通过设置了所述个别输送传送器以及所述定位组件，能够对所 述处理装置一张一张地进行基板的传递。因此，能够与一张一张地进 行基板的传递的处理装置对应。