[发明专利]低开关电压、快速响应数字光开关

权利要求书

1.一种电光开关(1)，包括：

电光基质(3)；

光波导(2)，其形成于所述基质(3)中，并且包括构造为连接至输入光波导的输入分支(4)，以及构造为连接至相应的输出光波导的输出分支(5)；以及

导电电极结构(6、7)，形成于所述基质(3)上并且设置为用以可操作地结合至所述光波导(2)以使在所述输入光波导接收的光信号选择地供应至至少一个所述输出光波导；

其特征在于，透光导电薄膜(9)设置于所述电极结构(6、7)与所述基质(3)之间。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光波导(2)是Y形的并且包括输入分支(4)与两个输出分支(5)；并且其中所述电极结构(6、7)包括内电极(7)和两个外电极(6)，所述内电极(7)设置于所述输出分支(5)之间，其大致处于所述光波导(2)的分支区域，所述两个外电极(6)设置于所述输出分支(5)外侧、内电极(7)的相对两侧；其中所述电极结构(6、7)可操作地使得所述电光开关(1)在第一开关状态与第二开关状态之间工作，在所述第一开关状态，光能的传输在所述输入分支(4)和所述输出分支(5)的第一分支之间是增强的，并且在所述输出分支(5)的第二分支中是大致抑制的，在所述第二开关状态，光能的传输在所述输入分支(4)和所述第二输出分支(5)之间是增强的，并且在所述第一输出分支(5)中是大致抑制的。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述透光导电薄膜(9)尺寸设置为使得每对相邻薄膜(9)之间的距离小于每对相邻电极(6、7)之间的距离。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，每层透光导电薄膜(9)相比于其上的所述相应的电极(6、7)较宽。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，每层透光导电薄膜(9)部分地侧向覆盖所述光波导(2)的相邻输出分支(5)的部分。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，每层透光导电薄膜(9)都被侧向间隔远离所述光波导(2)的相邻的输出分支(5)以形成它们之间的间距。

7.根据上述任一项权利要求所述的装置，进一步包括：

电介质过渡层(8)，其设置于每层透光导电薄膜(9)与其上的所述相应的电极(6、7)之间；以及

每层透光导电薄膜(9)与其上的所述相应的电极(6、7)之间的电力连接。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述透光导电薄膜(9)通过形成于所述电介质过渡层(8)中的过孔，电力连接至所述相应的电极(6、7)。

9.根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于，每层过渡层(8)朝向所述光波导(2)的相应相邻的输出分支(5)侧向延伸超过所述相应的电极(6、7)以形成它们之间的间距。

10.根据上述任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述电光基质(3)厚度为200至1000μm，所述导电电极(6、7)厚度为1至40μm，并且透光导电薄膜(9)厚度为50至300nm。

11.根据权利要求10以及上述权利要求7至9中任一项所述的装置，其特征在于，所述电介质过渡层(8)厚度为0.2至2μm。

12.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，薄膜间间距(G₁)的范围是4至20μm，并且电极间间距(G₀)的范围是10至40μm。