[发明专利]微型可动元件以及微型可动元件阵列

权利要求书

1.一种微型可动元件，包括：

具有第一驱动电极的可动部；

第二驱动电极，其用于在与所述第一驱动电极之间产生静电引力；

第一导体部，其与所述第一驱动电极电连接；

第二导体部，其与所述第二驱动电极电连接；以及

第三导体部，其不与所述第一和第二驱动电极电连接，并且经由绝缘 膜与所述第一导体部接合且经由绝缘膜与所述第二导体部接合。

2.如权利要求1所述的微型可动元件，其中，

所述第一导体部被赋予基准电位，所述第二导体部被赋予可变的驱动 电位，所述第三导体部被赋予中间电位，所述中间电位是所述基准电位和 最大驱动电位之间的电位。

3.如权利要求1所述的微型可动元件，其中，

所述第二导体部被赋予基准电位，所述第一导体部被赋予可变的驱动 电位，所述第三导体部被赋予中间电位，所述中间电位是所述基准电位和 最大的驱动电位之间的电位。

4.如权利要求1所述的微型可动元件，还包括：

框架；以及

连结部，其连结所述框架以及所述可动部并规定所述可动部的摆动动 作的轴心。

5.如权利要求4所述的微型可动元件，还包括：

追加框架；

追加连结部，其连结所述框架和所述追加框架，并且规定所述框架的 摆动动作的追加轴心，所述追加轴心向与所述轴心交叉的方向延伸；以及

驱动机构，其用于产生所述框架的所述摆动动作的驱动力。

6.如权利要求5所述的微型可动元件，其中，

所述追加连结部包括：与所述第一导体部电连接的部位、与所述第二 导体部电连接的部位、以及与所述第三导体部电连接的部位。

7.如权利要求1所述的微型可动元件，其中，

所述第三导体部具有被电分离的多个部位，所述被电分离的多个部位 包括经由绝缘膜与所述第一导体部接合的第一部位、以及经由绝缘膜与所 述第二导体部接合的第二部位。

8.如权利要求1所述的微型可动元件，其中，

所述第一和第二驱动电极分别为梳齿电极。

9.如权利要求8所述的微型可动元件，其中，

所述第一和第二驱动电极之间的间隔距离大于所述绝缘膜的厚度。

10.一种微型可动元件阵列，其包含多个权利要求1至9中任一项所 述的微型可动元件。

11.如权利要求10所述的微型可动元件阵列，其中，

所述多个微型可动元件中的所述可动部的所述第一驱动电极能够共同 地被赋予电位，并且所述多个微型可动元件中的所述第二驱动电极能够按 照每个微型可动元件个别地被赋予电位。