[发明专利]缓冲盘间距调节装置及用该缓冲盘传送半导体器件的装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种测试半导体器件的装置。本发明尤其涉及一种在对半导体器件进行测试的测试分选机中使用缓冲盘来传送半导体器件的装置。

背景技术

一般地，在测试半导体器件(诸如易失性或非易失性存储器、系统大规模集成(LSI)器件等)的工作特性以后，会装运该半导体器件。

测试分选机将半导体器件传送到测试室中以测试该半导体器件。具体地，半导体器件通过缓冲盘(buffer tray)从用户盘(customer tray)传送至测试盘(test tray)。此外，已在该测试室中测试过的半导体器件通过缓冲盘从测试盘传送至用户盘。

该测试分选机包括用于在该测试盘与该用户盘之间传送半导体器件的拾取器系统。第6,761,526号、第7,000,648号、第7,023,197号等美国专利揭露了该拾取器系统的例子。

近来，为了缩短传送半导体器件所需的时间，该拾取器系统采用多个拾取器。此外，该拾取器系统采用间距调节机构以使该拾取器之间的间距与该测试盘的间距或该用户盘的间距相等。然而，由于该间距调节机构的重量随着拾取器数量的增加而增加，加快半导体器件的传送速度受到了限制。

发明内容

技术问题

本发明的一个目的是提供一种调节缓冲盘间距的装置，以加快对半导体器件进行测试的测试分选机中半导体器件的传送速度。

本发明的另一个目的是提供一种使用缓冲盘传送半导体器件的装置，所述缓冲盘能够调节对半导体器件进行测试的测试分选机中的间距。

技术方案

根据本发明一个方面，一种调节缓冲盘间距的装置，所述缓冲盘包括多个用于容纳半导体器件的单元缓冲盘，所述装置包括导向件，其沿所述缓冲盘的间距方向对所述缓冲盘进行导向；靠近所述缓冲盘的间距调节板，所述间距调节板可沿垂直于所述缓冲盘的间距方向的方向移动，并且具有沿不同方向延伸的多个轨迹，以调节所述单元缓冲盘之间的间距；及多个连接件，其沿所述轨迹可移动地设置且连接至所述单元缓冲盘，以通过移动所述间距调节板来调节所述单元缓冲盘之间的所述间距。

根据本发明实施例，所述间距调节装置还包括基板，并且所述导向件包括设在所述基板上并且沿所述间距方向延伸的导轨，以及多个可移动地连接至所述导轨以支撑所述单元缓冲盘的球形滑块。

根据本发明实施例，所述间距调节板设在所述基板与所述单元缓冲盘之间。

根据本发明实施例，所述基板具有孔。所述单元缓冲盘和所述间距调节板分别设在所述基板的上表面和下表面。所述连接件通过所述孔连接所述单元缓冲盘和所述间距调节板。

根据本发明实施例，所述间距调节板具有多个用作轨迹的槽，并且其中所述连接件的端部设在所述槽中。

根据本发明实施例，所述连接件包括从所述单元缓冲盘延伸出的连接轴，以及连接至所述连接轴的端部以与所述槽的内表面形成接触的辊子。

根据本发明实施例，用作所述轨迹的多个导轨设在所述间距调节板上，多个球形滑块连接至所述导轨。所述单元缓冲盘通过所述连接件连接至所述球形滑块。

根据本发明实施例，所述间距调节装置还包括使得所述间距调节板沿垂直于所述间距方向的方向移动的驱动部。

根据本发明实施例，各所述单元缓冲盘具有多个排列成一列的插槽以容纳所述半导体器件，并且所述间距方向垂直于所述插槽的列方向。

根据本发明实施例，各所述单元缓冲盘具有多个排列成多列的插槽以容纳半导体器件，并且所述间距方向垂直于所述插槽的列方向。

根据本发明的另一方面，一种在盘之间传送半导体器件以用于测试所述半导体器件的装置，包括：缓冲盘，其包括多个单元缓冲盘以容纳所述半导体器件；间距调节部，其调节所述单元缓冲盘之间沿所述缓冲盘的行方向的x间距；及拾取器系统，其将所述半导体器件从第一盘传送至所述缓冲盘。其中所述间距调节部包括：导向件，其沿所述缓冲盘的行方向对所述单元缓冲盘进行导向；靠近所述缓冲盘的间距调节板，所述间距调节板可沿所述缓冲盘的列方向移动，并且具有沿不同方向延伸的多个轨迹，以调节所述单元缓冲盘之间的x间距；及多个连接件，其沿所述轨迹可移动地设置且连接至所述单元缓冲盘，以通过移动所述间距调节板来调节所述x间距。

根据本发明实施例，所述拾取器系统包括多个排列成行和列的拾取器，以拾取所述半导体器件；及在所述第一盘与所述缓冲盘之间移动所述拾取器的拾取器传送部。

根据本发明实施例，所述拾取器系统的沿行方向的x间距和沿列方向的y间距等于所述第一盘的沿行方向的x间距和沿列方向的y间距。