[发明专利]插入件、托盘及电子元件测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及在电子元件测试装置内搬送的托盘上可微动地设置的、可容纳半导体集成电路元件等各种电子元件(以下代表性地称为IC器件)的插入件，以及具备所述插入件的托盘及电子元件测试装置。

背景技术

在IC器件等电子元件的制造过程中，为了测试IC器件的性能和功能，使用电子元件测试装置。

构成电子元件测试装置的处理机(handler)，存在一种在用于容纳未测试或测试后的IC器件的托盘(以下称为客户托盘)和在电子元件测试装置内循环搬送的托盘(以下称为测试托盘)之间换装IC器件的类型。

这种处理机，在使IC器件接触测试头以进行IC器件的测试的工序中，在测试托盘上容纳IC器件的状态下，将IC器件推压在测试头上。

容纳各IC器件的插入件可微动地设置在测试托盘上。作为可灵活应对IC器件的类别更换的插入件，传统上公知一种插入件，器件载体可在插入件主体上装卸(例如参照专利文献1)。

这样的插入件中，是以IC器件的外形为基准，基于器件载体对IC器件进行定位的构造。而且，为了减轻在推压IC器件时施加在IC器件、器件载体上的载荷，设计为在IC器件和器件载体之间形成间隙。

专利文献1：国际公开第03/075024号小册子

发明内容

本发明要解决的课题

然而，如果为了进一步提高IC器件的种类的通用性，以IC器件的端子为基准对IC器件进行定位，那么由于推压时形成的间隙，IC器件会偏离器件载体，存在引起误接触的问题。与此不同，如果在推压时不设置间隙(仅仅使IC器件和器件载体紧靠)，那么存在IC器件和器件载体上的载荷过大的问题。

本发明要解决的课题在于，提供一种可防止推压时被测试电子元件和保持构件受损等，并抑制误接触的发生的插入件、托盘及电子元件测试装置。

用于解决课题的技术方案

为达成上述目的，根据本发明，提供了一种在电子元件测试装置内搬送的托盘上可微动地设置的、可容纳被测试电子元件的插入件，其具备：具有容纳前述被测试电子元件的容纳孔的插入件主体和保持容纳于前述容纳孔的前述被测试电子元件的保持构件，前述保持构件可相对于前述插入件主体微动(参照权利要求1)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述保持构件，可沿将前述被测试电子元件推压在前述电子元件测试装置具有的测试头上的推压方向微动(参照权利要求2)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述推压方向为垂直方向(参照权利要求3)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，所述插入件还具有将前述保持构件可装卸地安装在前述插入件主体上的安装结构，前述保持构件在前述安装结构的作用下可相对于前述插入件主体微动(参照权利要求4)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述安装结构具有：在顶端具有与前述保持构件卡合的挂钩的挂钩构件、可旋转地支撑前述挂钩构件的轴和以前述轴为中心向一个旋转方向对前述挂钩构件施力的第1施力结构，前述挂钩构件可沿前述推压方向微动(参照权利要求5)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述保持构件具有前述挂钩构件具有的前述挂钩卡合的卡合孔(参照权利要求6)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述安装结构还具有向与前述推压方向相反的方向对前述挂钩构件施力的第2施力结构(参照权利要求7)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述第1施力结构和前述第2施力结构为同一施力结构(参照权利要求8)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述挂钩构件的插入前述轴的插入孔为具有沿前述推压方向的长轴的长孔(参照权利要求9)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述保持构件具有插入前述被测试电子元件的端子的多个通孔(参照权利要求10)。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，所述插入件具备：可在接近前述插入件容纳的前述被测试电子元件的上表面的闭位置和从前述插入件容纳的前述被测试电子元件的上表面退避的开位置之间移动的卡闩构件，和将前述卡闩构件可旋转地支撑于插入件主体的支撑构件，前述卡闩构件至少在前述插入件的平面视图中，以前述支撑构件为旋转中心旋转动作。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述支撑构件以前述支撑构件的轴方向基本上平行于前述被测试电子元件的容纳方向或倾斜于前述容纳方向的方式设置在前述插入件主体上。

对于上述发明并无特别限定，但优选的是，前述卡闩构件在倾斜于前述插入件主体的主要面的平面上，以前述支撑构件为中心旋转动作。