[发明专利]无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源无效
| 申请号： | 200810000001.0 | 申请日： | 2008-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN101476106A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王殿儒 | 申请（专利权）人： | 王殿儒 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/24;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100095北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 无弧斑 真空 电弧 等离子体 蒸发 离化源 | ||
【权利要求书】：
1.一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是在真空度10-10-3Pa范围内，多种工作气体气氛下，采用可消耗的金属阴极、异形金属阳极，分别耦合到电弧等离子体放电所需的直流弧电源上，使在作为蒸发面的阴极表面上，实现无弧斑的真空电弧等离子体放电，以产生无液滴、高电离度、高密度的金属蒸气等离子体。
2.根据权利要求1，一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是电弧的固态或液态阴极表面温度，都在其阴极材料的沸点1500°K以上。
3.根据权利要求1，一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是阴极通常采用圆柱金属导体，也可采用其他异形表面金属导体，圆柱断面直径φ1-200mm，或异形表面最大线性度为1-200mm，阳极采用在阴极周围任何形状的环状、非环状导体或适合于真空环境的材料制成的导电壳体。
4.根据权利要求1，一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是工作电流范围为直流100-2000A，工作电压范围为直流10-40V，连续可调。
5.根据权利要求1，一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是阴极材料的线性消耗速率为0.2-5mm/min。
6.根据权利要求1，一种无弧斑的真空电弧等离子体蒸发离化源，其特征是适合于该蒸发离化源的工作气体气氛为Ar，或O2，或N2，或C2H2，或空气等及其混合气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于王殿儒，未经王殿儒许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810000001.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
