[发明专利]溅射用靶装置无效
| 申请号： | 200810000046.8 | 申请日： | 2008-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN101220460A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 尹汉镐;赵祐奭;金眩秀;金仁燮;崔成龙;崔智雄;朴喆基;朴炯律 | 申请（专利权）人： | 三星康宁株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陆弋;朱登河 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
1.一种溅射用靶装置，相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上，其特征在于，包括：
背板，含有中央表面以及在所述中央表面的两侧以降低规定的级差而形成的至少一个台阶表面；
基准靶材，安装在所述背板的中央表面上；和
加强靶材，安装在所述背板的台阶表面上。
2.根据权利要求1所述的溅射用靶装置，其特征在于，
所述基准靶材和所述加强靶材由同一材质形成，以所述背板的中央为中心呈左右对称地安装。
3.根据权利要求1所述的溅射用靶装置，其特征在于，
所述基准靶材和所述加强靶材由同一材质形成，各自的宽度Wn至少为5mm。
4.根据权利要求1所述的溅射用靶装置，其特征在于，
所述基准靶材和所述加强靶材露出的表面形成实质上同一的平面。
5.根据权利要求4所述的溅射用靶装置，其特征在于，
在所述基准靶材和所述加强靶材露出的表面之中，相邻表面间的级差维持在1mm以内。
6.根据权利要求1所述的溅射用靶装置，其特征在于，
从所述背板的所述中央表面的两侧形成有多个台阶表面，所述台阶表面以互不相同的高度形成。
7.一种溅射用靶装置，相对大面积对象物的行进方向而配置在宽度方向上，其特征在于，
包括：背板，含有中央表面、在所述中央表面的两侧低于所述中央表面而形成的第1台阶表面和在所述第1台阶表面的两端低于所述第1台阶表面而形成的第2台阶表面；基准靶材，安装在所述中央表面上；第1加强靶材，安装在所述第1台阶表面上；和第2加强靶材，安装在所述第2台阶表面上，
所述基准靶材、所述第1加强靶材和所述第2加强靶材露出的表面形成实质上同一的平面。
8.根据权利要求7所述的溅射用靶装置，其特征在于，
所述第1加强靶材和第2加强靶材露出的表面间的级差维持在1mm以内。
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