[发明专利]灯故障检测器

权利要求书

1.一种用于检测用于半导体衬底的热处理的灯组中的灯故障的灯故障检测装置，包括：

数据采集模块，其用于在沿通过一组串联连接的灯组形成的电路路径的不同采样位置处采用电压信号；以及

控制器，其适于基于经过至少两个灯的电压降，如由所采样的电压信号确定的，来检测一个或多个所述灯中的故障。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述一组串联连接的灯包括两个以上的灯。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器适于基于经过第二个灯的零电压降来检测第一个灯的开路条件。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，如果经过所述第一个灯的电压降与经过所述第二个灯的电压降相差大于阈值，则所述控制器适于检测所述第一个灯局部短路。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制器适于基于经过一个或多个灯的每一个的零电压降来检测多个灯的开路条件。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数据采集模块为控制器提供所采样的电压信号的数字值。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述采样的电压信号是交流电压信号。

8.一种用于检测用于半导体衬底的热处理的灯组中的灯故障的灯故障检测系统，包括：

多路复用器，其用于接受从沿由多组串联连接的灯组形成的电路的不同位置所采样的多个模拟电压信号；

模拟到数字转换器，其用于提供对应由所述多路复用器输出的一个或多个模拟电压信号的数字值；以及

控制逻辑器，其适于控制所述多路复用器以选择哪个模拟电压信号由所述多路复用器输出以及，对于多组串联连接的灯组，基于经过至少两个灯的电压降，如由采样的电压信号所确定的，来检测所述组的一个或多个灯中的故障。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述控制逻辑器实施为场可编程门阵列。

10.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述控制逻辑器实施为微控制器。

11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，进一步包括通信接口，其允许外部装置与所述控制逻辑器通信以接收灯故障检测数据。

12.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述控制逻辑器适于控制所述多路复用器以顺序选择公共区中多组串联连接的灯。

13.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述多组串联连接的灯包括两个以上的灯。

14.根据权利要求8的所述的装置，其特征在于，所述控制器适于基于经过第二个灯的零电压降来检测第一个灯的开路条件。

15.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，如果经过所述第一灯的电压降与经过第二灯的电压降相差大于阈值，则所述控制器适于检测第一灯局部短路。

16.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述灯是钨卤素灯。

17.一种用于检测用于半导体衬底的热处理的灯组中的灯故障的方法，包括：

在沿由一组串联连接的灯组形成的电路的不同采样位置处，采样电压信号；

基于所采样的电压信号来计算经过至少两个灯的电压降；以及

基于所述电压降之间的关系来确定是否存在故障。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述一组串联连接的灯包括两个以上的灯。

19.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，基于所述电压降之间的关系来确定是否存在故障的步骤至少包括：

基于经过第二灯的零电压降来确定存在第一灯的开路条件；以及

如果经过所述第一灯的电压降与经过第二灯的电压降相差大于阈值，则确定存在第一灯的局部短路。

20.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，多组串联连接的灯中，电压降值用于识别哪组具有灯故障。

21.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述一组串联连接的灯的电压降之间的关系用于识别该组的一个或多个灯中哪个发生了故障。