[发明专利]探针高度测量系统及其方法

权利要求书

1.一种探针高度测量方法，用以测量探针治具(10)上探针(11)的高度，其特征在于，包括步骤有：

接触探针的手段：驱动可供导电的测量单元(20)与所述探针(11)接触；

取得接触位置信息的手段：传送所述测量单元(20)与所述探针(11)所接触的位置信息(L1、L2、L3)至信号处理单元(30)；

侦测所接触探针的手段：所述测量单元(20)产生侦测信号(S1、S2、S3)于所接触的所述探针(11)；

决定探针高度的手段：所述探针(11)传递所述侦测信号(S1、S2、S3)于所述信号处理单元(30)，对应所述位置信息(L1、L2、L3)以决定至少一位于所述接触位置探针(11)的高度。

2.根据权利要求1所述的探针高度测量方法，其特征在于，所述侦测信号(S1、S2、S3)由所述信号处理单元(30)至少通过一探针(11)传递至所述测量单元(20)。

3.根据权利要求1所述的探针高度测量方法，其特征在于，所述探针治具(10)具有至少一组不同高度的探针(11)。

4.根据权利要求1或3所述的探针高度测量方法，其特征在于，所述探针(11)可受压力产生上下弹性位移。

5.根据权利要求4所述的探针高度测量方法，其特征在于，还于所述决定探针高度的手段完成后包含回复至所述接触探针的手段，直到所述探针治具(10)上所有探针(11)都已决定其高度。

6.根据权利要求1所述的探针高度测量方法，其特征在于，所述测量单元(20)的测量范围至少大于所述探针(11)所设置的范围。

7.根据权利要求1所述的探针高度测量方法，其特征在于，还具有显示所述探针(11)高度的手段。

8.根据权利要求1所述的探针高度测量方法，其特征在于，所述侦测信号(S1、S2、S3)的电压至少大于所述探针(11)工作时的电压。

9.一种探针高度测量系统，用以测量探针治具(10)上探针(11)的高度，其特征在于，包括有：

测量单元(20)，可供导电且具有趋向所述探针治具(10)位移的测量行程(P)；

信号处理单元(30)，分别电连结于所述测量单元(20)与所述探针治具(10)上各探针(11)，而取得所述测量单元(20)于所述测量行程(P)上的位置信息(L1、L2、L3)；

其中，于所述测量行程(P)中具有至少一与所述探针(11)接触的接触位置，所述测量单元(20)于所述接触位置产生侦测信号(S1、S2、S3)传递至至少一所述探针(11)，并将所述侦测信号(S1、S2、S3)传送至所述信号处理单元(30)，对应所述位置信息(L1、L2、L3)以决定至少一位于所述接触位置探针(11)的高度。

10.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述探针治具(10)具有至少一组不同高度的探针(11)。

11.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述探针(11)可受压力产生上下弹性位移。

12.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述测量单元(20)包含具有导电能力的导接部(22)。

13.根据权利要求12所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述导接部(22)是铜制金属。

14.根据权利要求12所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述导接部(22)的面积至少大于所述探针(11)所设置的范围。

15.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述测量单元(20)具有驱动所述测量单元(20)产生所述测量行程(P)的驱动装置(21)。

16.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述信号处理单元(30)至少通过一探针(11)于接触位置将侦测信号(S1、S2、S3)传递至所述测量单元(20)。

17.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述信号处理单元(30)连结至显示所述探针(11)高度的显示装置(40)。

18.根据权利要求9所述的探针高度测量系统，其特征在于，所述侦测信号(S1、S2、S3)的电压至少大于所述探针(11)工作时的电压。