[发明专利]光学系统以及光学显微镜无效
| 申请号： | 200810000403.0 | 申请日： | 2006-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101221287A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 田名纲健雄;杉山由美子 | 申请（专利权）人： | 横河电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾红霞;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学系统 以及 光学 显微镜 | ||
1.一种将入射光的强度分布校正为平坦的强度分布的光学系统，所述入射光在平面的X方向和Y方向上具有不同的发散角，所述光学系统包括：
第一透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较大发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较大发散角方向的方向上没有折射率；
第二透镜组，其包括至少一个柱面透镜，并且在发散角的较小发散角方向上具有正折射率，在垂直于所述较小发散角方向的方向上没有折射率，在所述入射光方向上所述第二透镜组位于所述第一透镜组之后。
2.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
使得所述入射光准直，并且利用所述第一透镜组的球面像差和所述第二透镜组的球面像差将所述入射光的强度分布校正为平坦的强度分布。
3.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
所述入射光是激光或者自然光。
4.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
所述入射光的强度分布是高斯分布或者艾里分布。
5.根据权利要求1所述的光学系统，其中，
在平面的X方向和Y方向上具有不同发散角的入射光是从点光源发出的，所述点光源是激光二极管。
6.根据权利要求2所述的光学系统，其中，
所述球面像差的量基本上等于或大于所述第一透镜组的焦距的40％。
7.一种光学显微镜，在所述光学显微镜中，通过物镜利用来自光源的入射光照射样品的表面，所述光学显微镜包括：
根据权利要求1所述的光学系统，
其中，所述光学系统使所述入射光准直，并且利用所述第一透镜组的球面像差和所述第二透镜组的球面像差将所述入射光的强度分布校正为平坦的强度分布，从而将所述入射光入射到所述物镜上。
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