[发明专利]高温机器人末端操作器

权利要求书

1.一种机器人末端操作器，其适于在处理系统中传送衬底，该末端操作器包含：

主体，其具有相对的安装端和远心端，该主体由单一块的陶瓷制造，该主体包含：

一对指部，设置在所述主体的所述远心端处；

一对弓形唇缘，其从所述主体的上表面向上延伸，每个唇缘设置在各个指部上；

多个接触垫，其从所述主体的所述上表面向上延伸；

弓形的内壁，其从在所述主体的所述安装端的所述上表面向上延伸，所述内壁和所述唇缘限定衬底容纳袋；以及

凹槽，其形成于所述主体的底表面中。

2.根据权利要求1所述的末端操作器，其特征在于，所述主体进一步包含：

多个孔，其贯穿所述内壁外面的所述主体而形成，其中所述孔的一端对所述凹槽打开。

3.根据权利要求1所述的末端操作器，其特征在于，所述主体进一步包含：

孔，其贯穿所述主体的中心线形成，其中所述内壁和唇缘设置在距离所述孔空心的相同径向距离处。

4.根据权利要求1所述的末端操作器，其特征在于，所述主体重大约237克到大约703克。

5.根据权利要求1所述的末端操作器，其特征在于，所述主体为大约99.5％重量百分比的氧化铝。

6.一种机器人末端操作器，其适于在处理系统中传送衬底，所述末端操作器包含：

狭长平主体，其具有相对的安装端和远心端；

一对指部，其设置在所述主体的所述远心端处；

一对弓形唇缘，其从所述主体的上表面向上延伸，每个唇缘设置在各个指部上；

多个接触垫，其从所述主体的所述上表面向上延伸，所述垫、唇缘和所述主体由单一块的陶瓷制成；

弓形的内壁，其从所述主体的在所述安装端处的所述上表面向上延伸，所述内壁和唇缘限定衬底容纳袋；

孔，其贯穿所述主体的中心线形成，其中所述内壁和唇缘设置在距离所述孔中心的相同径向距离处；

凹槽，其在所述安装端的内壁外形成于所述主体的底表面中，所述凹槽具有基本垂直于所述主体中心线的横向延伸的壁；

多个安装孔，其贯穿所述主体的所述安装端形成，其中所述孔的一端对所述凹槽打开。

7.根据权利要求6所述的末端操作器，其特征在于，所述主体中大约237克到约703克。

8.根据权利要求6所述的末端操作器，其特征在于，所述主体为大约99.5％重量百分比的氧化铝。

9.根据权利要求6所述的末端操作器，其特征在于，所述垫具有外壁和内壁，所述内壁和外壁为弧形区段。

10.根据权利要求9所述的末端操作器，其特征在于，所述内壁具有大约5.21英寸的半径并且所述外壁具有相对于所述孔的中心大约5.55英寸的半径。

11.根据权利要求6所述的末端操作器，其特征在于，所述垫在所述主体上方延伸大约0.75英寸。

12.一种适于在真空处理系统中传送衬底的机器人，该机器人包含：

底座；

在所第一端耦接到所述底座的联接；

肘节，其耦接到所述联接的第二端；以及

狭长平末端操作器，所述末端操作器进一步包含：

主体；

一对指部，设置在所述主体的远心端处；

一对弓形唇缘，其从所述主体的上表面向上延伸，每个唇缘设置在各个指部上；

多个接触垫，其从所述主体的所述上表面向上延伸，所述垫、唇缘和所述主体由单一块的陶瓷制成；

弓形的内壁，其从所述主体的在安装端处的所述上表面而向上延伸，所述内壁和唇缘限定衬底容纳袋；

孔，其贯穿所述主体的中心线形成，其中所述内壁和唇缘设置在距离所述孔中心的相同径向距离处；

凹槽，其在所述安装端的内壁外形成于所述主体的底表面中，所述凹槽具有基本垂直于所述主体中心线的横向延伸的壁；

多个安装孔，其通过所述主体的所述安装端形成，其中所述安装孔的一端对所述凹槽打开。

13.根据权利要求12所述的机器人，其特征在于，进一步包含：

箝位板，其具有从其延伸的多个凹槽，所述凹槽延伸到所述末端操作器的所述安装孔中；以及

多个紧固件，其将所述箝位板耦接到肘节。

14.根据权利要求13所述的机器人，其特征在于，所述筘位板设置在所述末端操作器的凹槽中。