[发明专利]管路压力平衡系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种管路压力平衡系统，尤其涉及一种光刻胶涂布机台的管路压力平衡系统。

背景技术

请参考图1，有关现有技术的光刻胶涂布机台的排放管路的示意图。其中，排放管路12，抽排管路14。一般光刻胶涂布机台具有喷嘴组件10，通过排放管路阀件22，控制与排放管路12的通连，以排放光刻胶液至废液排放端26。而光刻胶涂布机台供给光刻胶液至喷嘴组件10时，也通过抽排管路阀件24，控制与排放管路12的通连，同样地连接至废液排放端26。依据现有技术，光刻胶涂布机台利用地心引力，将光刻胶液导流至废液排放端26，请一并参考图2，为有关现有技术以喷嘴组件10，对工件300涂布光刻胶液，其排放管路及具有光刻胶供给回收系统400的光刻胶涂布机台的示意图。图2中分别以三角形、菱形等分别表示光刻胶供给、排放管路中的自动三向阀、三向阀、手动阀及气动阀等，其中，表示自动三向阀；◇表示三向阀；表示手动阀；表示气动阀，光刻胶涂布机台并通过上述的各式阀件控制光刻胶涂布机台中光刻胶的供给及排放。

然而，图1中的排放管路12为涂布工艺中的排泡管路段，若排放管路12的流动性不佳，会导致排放管路12内光刻胶液凝聚，致使喷嘴组件10内压力不正常，而发生工艺异常。因此将会造成涂布膜厚不均匀及涂布的工件表面产生气泡，进而造成生产良率的下降。再者，在排放管路12进行排泡程序时，若其无法顺利完成作业，将会影响光刻胶涂布机台的稼动率及产能。

另外，因排放管路12设置于光刻胶涂布机台内，机台操作人员无法实时检视排放管路12，因此也无法有效确认排放管路12内的光刻胶液是否发生阻塞，因此也使得机台操作人员无法实时反应，无法对光刻胶涂布机台进行实时的排泡或维修处理。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种用于光刻胶涂布机台的管路压力平衡系统，通过液封压力平衡瓶，能向排放管路补充气体，平衡排放管路内的压力，也使光刻胶液与外界隔绝，延长排放管路发生阻塞的循环周期。同时，通过观察液封压力平衡瓶内隔绝液体的液面高度，便可轻易察觉排放管路内是否阻塞情形。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供一种用于光刻胶涂布机台的管路压力平衡系统，因能让光刻胶液排放顺畅，避免光刻胶液于排放管路内发生凝聚，发生工艺异常，而使光刻胶涂布工艺良率有所提升。

为实现上述目的，本发明的管路压力平衡系统用于一光刻胶的涂布机台，包括喷嘴组件、排放管路以及第一液封压力平衡瓶。喷嘴组件设置于光刻胶涂布机台上，用以涂布光刻胶液。排放管路连接至喷嘴组件，以排放光刻胶液。第一液封压力平衡瓶具有第一长管以及第一短管，瓶内具有一隔绝液体，第一短管连接至排放管路，第一长管与第一短管均伸入液封压力平衡瓶内，且第一长管更伸入隔绝液体中，与外界连通，当排放管路内为负压时，通过隔绝液体，自外界补充气体至排放管路，即能平衡排放管路内的压力，以顺利排放光刻胶液。利用本发明的第一液封压力平衡瓶，仅需观察其内部隔绝液体的液面高度，如有改变，即能确定排放管路内有阻塞产生。

本发明的光刻胶涂布机台还包含光刻胶供给回收系统，用以供给光刻胶至喷嘴组件。光刻胶供给回收系统包含回收槽，回收并储存光刻胶液。而本发明的管路压力平衡系统还包含回收管路，回收槽通过回收管路连接至排放管路，回收光刻胶液。并且，本发明的管路压力平衡系统更进一步包含第二液封压力平衡瓶，具有第二长管以及第二短管，瓶内具有一隔绝液体，第二长管连接至回收管路，第二短管与光刻胶供给回收系统外界连通，利用与第一液封压力平衡瓶相似的原理，平衡回收管路内的压力。对具有光刻胶供给回收系统的光刻胶涂布机台而言，本发明的管路压力平衡系统即能克服前述现有技术的缺点，满足此类光刻胶涂布机台的前述需求。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为现有技术的光刻胶涂布机台排放管路的示意图；

图2为现有技术的排放管路及具有光刻胶供给回收系统的光刻胶涂布机台的示意图；

图3为本发明管路压力平衡系统的示意图；

图4为本发明具有管路压力平衡系统及手动光刻胶供给回收系统的光刻胶涂布机台的示意图；

图5为本发明第二液封压力平衡瓶与回收管路连接的示意图；

图6为本发明具有管路压力平衡系统及自动光刻胶供给回收系统的光刻胶涂布机台的示意图。

其中，附图标记：

10：喷嘴组件             12：排放管路

22：排放管路阀件         24：抽排管路阀件