[发明专利]基板保持台和使用其的成膜方法、成膜装置

权利要求书

1.一种基板保持台，当在基板表面形成薄膜时，将基板保持为立起状态，其特征在于：

包括具有规定的间隙以进行所述基板的宽度方向的定位的左侧支撑部和右侧支撑部，在这些左侧支撑部和右侧支撑部上，分别以与所述基板的左右端部重叠的方式设置有使所述基板不倒下的爪部，并且，在所述左侧支撑部和右侧支撑部中，所述基板被偏置到的一方的支撑部具有的爪部的长度比另一方的支撑部具有的爪部的长度短。

2.如权利要求1所述的基板保持台，其特征在于：

偏置所述基板时，所述左侧支撑部的爪部与所述基板的左端部重叠的宽度和所述右侧支撑部的爪部与所述基板的右端部重叠的宽度相同。

3.一种成膜方法，其使用当在基板表面形成薄膜时将基板保持为立起状态的基板保持台，其特征在于：

所述基板保持台包括具有规定的间隙以进行所述基板的宽度方向的定位的左侧支撑部和右侧支撑部，在这些左侧支撑部和右侧支撑部上，分别以与所述基板的左右端部重叠的方式设置有使所述基板不倒下的爪部，并且，在所述左侧支撑部和右侧支撑部中，一方的支撑部具有的爪部的长度形成为比另一方的支撑部具有的爪部的长度短，在成膜时，所述基板被偏置在所述爪部长度短的支撑部上。

4.如权利要求3所述的成膜方法，其特征在于：

偏置所述基板时，所述左侧支撑部的爪部与所述基板的左端部重叠的宽度和所述右侧支撑部的爪部与所述基板的右端部重叠的宽度相同。

5.如权利要求3或4所述的成膜方法，其特征在于：

通过使搬送所述基板保持台时的速度变化而进行所述基板的偏置。

6.如权利要求5所述的成膜方法，其特征在于：

所述基板的偏置方向与所述基板保持台的搬送方向相同。

7.一种使用权利要求1或2所述的基板保持台进行处理的成膜装置。