[发明专利]到至少一个耗电设备的电压馈电器无效

申请号：	200810001871.X	申请日：	2008-01-17
公开（公告）号：	CN101257159A	公开（公告）日：	2008-09-03
发明（设计）人：	沃克尔·海克;京特·克莱姆	申请（专利权）人：	应用材料公司
主分类号：	H01R13/00	分类号：	H01R13/00;H01R13/52;H01R13/53
代理公司：	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人：	赵飞
地址：	美国加利***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	至少一个耗电设备电压馈电
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【权利要求书】：

1.一种到至少一个位于真空室(1)中的耗电设备(2，3)的具有电缆(12，16；13，17)的电压馈电器，所述电缆(12，16；13，17)包括电压传输芯(55)以及至少一个包围该芯(55)的绝缘体(59)，其特征在于，在所述芯(55)和所述绝缘体(59)之间，直到所述芯(55)的端部与所述耗电装置(2，3)的电气端子(80-82)的连接的前方，获得大气压或高于大气压的气压。

2.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，所述绝缘体(59)是真空密封管道。

3.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，所述绝缘体是真空密封管。

4.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，所述电缆(12，16)是高压DC电缆。

5.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，所述电缆(13，17)是高频电缆。

6.如权利要求5所述的电压馈电器，其特征在于，所述电缆是中空导体。

7.如权利要求1或4所述的电压馈电器，其特征在于，所述耗电设备是电子源(2)。

8.如权利要求1、5或6所述的电压馈电器，其特征在于，所述耗电设备是离子源(3)。

9.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，其经由真空馈通(14，15)引导到真空室(1)中。

10.如权利要求4所述的电压馈电器，其特征在于，高压DC电缆(16)的一端连接有耦合器(20)，所述耦合器(20)包括用于高压插头(82)的馈通的开口(21)。

11.如权利要求10所述的电压馈电器，其特征在于，所述耦合器(20)包括开口(29)，通过该开口(29)，借助焊接工具，所述高压插头(82)可以与所述高压电缆(16)的所述芯(55)焊接。

12.如权利要求1所述的电压馈电器，其特征在于，在所述芯(55)和所述绝缘体(59)之间设置有高压绝缘体(56)。

13.如权利要求12所述的电压馈电器，其特征在于，在所述高压绝缘体(56)和所述绝缘体(59)之间设置有金属屏蔽(57)。