[发明专利]喷嘴清洗装置

权利要求书

1.一种喷嘴清洗装置，用于清洗处理液供给喷嘴，该处理液供给喷嘴从在长尺状的狭缝喷嘴的下端部上形成的狭缝状的吐出口吐出处理液，其特征在于，具备：

清洗单元，其具有：可抵接于所述狭缝喷嘴的下端部的下面上的下面清洗刷；朝向所述狭缝喷嘴的长度方向而可抵接于所述下端部的右侧面的右侧面清洗刷；相对于所述狭缝喷嘴的长度方向配设于与所述右侧面清洗刷不同的位置，并朝向所述狭缝喷嘴的长度方向而可抵接于所述下端部的左侧面的左侧面清洗刷；

移动机构，其使所述清洗单元在清洗区域和待机位置之间往复移动，其中，该清洗区域是所述清洗单元利用所述下面清洗刷、所述右侧面清洗刷以及所述左侧面清洗刷清洗狭缝喷嘴的下端部的同时进行移动的区域；该待机位置是所述下面清洗刷、右侧面清洗刷以及左侧面清洗刷从狭缝喷嘴分离开的位置；

第一喷嘴，其在所述清洗单元配置于所述清洗区域时，设置在所述清洗单元的隔着所述狭缝喷嘴而与所述右侧面清洗刷相对向的位置上，并能够向所述右侧面清洗刷吐出清洗液；

第二喷嘴，其在所述清洗单元配置于所述清洗区域时，设置在所述清洗单元的隔着所述狭缝喷嘴而与所述左侧面清洗刷相对向的位置上，并能够向所述左侧面清洗刷吐出清洗液；

清洗液供给部，其在清洗单元在所述清洗区域内移动时、和在清洗单元配置于所述待机位置时，向所述第一喷嘴以及所述第二喷嘴供给清洗液。

2.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，

还具有能够向所述下面清洗刷吐出清洗液的第三喷嘴，

而且，所述清洗液供给部在清洗单元在所述清洗区域内移动时、和在清洗单元配置于所述待机位置时，向所述第三喷嘴供给清洗液。

3.如权利要求1或2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还具备：

右侧面用气体喷出装置，其配置于所述清洗单元中所述右侧面清洗刷的移动方向的后侧，并向由所述右侧面清洗刷清洗过的所述狭缝喷嘴的下端部的右侧面喷出气体；

左侧面用气体喷出装置，其配置于所述清洗单元中所述左侧面清洗刷的移动方向的后侧，并向由所述左侧面清洗刷清洗过的所述狭缝喷嘴的下端部的左侧面喷出气体。

4.如权利要求3所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，

所述右侧面用气体喷出装置和所述左侧面用气体喷出装置分别具有向所述狭缝喷嘴的下端部喷出气体的狭缝状的气体喷出孔。

5.如权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，

还包括防止清洗液飞散的飞散防止罩，该飞散防止罩在所述清洗单元移动到所述待机位置时，覆盖所述清洗单元的上部。