[发明专利]制造集成电路的方法及该集成电路的半导体结构无效
申请号: | 200810002259.4 | 申请日: | 2008-01-08 |
公开(公告)号: | CN101483152A | 公开(公告)日: | 2009-07-15 |
发明(设计)人: | 游季陆;郑瑞煌;林建民;黄瑞豪 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/822 | 分类号: | H01L21/822;H01L21/265;H01L27/04 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 蒲迈文 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 集成电路 方法 半导体 结构 | ||
1.一种制造集成电路的方法,其包含有:
在晶圆上进行离子注入,使得该晶圆上的一芯片具有原始掺杂浓度;
将该芯片分为多个区域;以及
控制该多个区域中至少一区域不再进行离子注入,以使该区域仅具有单次离子注入而使用该原始掺杂浓度作为该区域中晶体管的N阱或是P阱的掺杂浓度。
2.根据权利要求1所述的方法,其中该芯片的该多个区域包含有:
至少一第一区域,其中该第一区域是进行临界电压注入制程,使得该第一区域中晶体管的N阱或是P阱具有另一掺杂浓度;以及
至少一第二区域,其中该第二区域未进行该临界电压注入制程,使得该第二区域中晶体管的N阱或是P阱具有该原始掺杂浓度。
3.根据权利要求2所述的方法,其中该第二区域是对应至该集成电路中的信号输出端。
4.根据权利要求1所述的方法,其中该区域中晶体管的临界电压是位于1.5~2.5伏特之间。
5.根据权利要求1所述的方法,其中该集成电路为液晶显示器的驱动电路或是有机发光二极管显示器的驱动电路。
6.一种集成电路的半导体结构,其包含有:
芯片,包含有多个区域,且该多个区域中至少一区域使用原始掺杂浓度作为该区域中晶体管的N阱或是P阱的掺杂浓度,其中该原始掺杂浓度为单次离子注入的掺杂浓度。
7.根据权利要求6所述的半导体结构,其中该芯片的该多个区域包含有:
至少一第一区域,其中该第一区域中晶体管的N阱或是P阱具有异于该原始掺杂浓度的另一掺杂浓度;以及
至少一第二区域,其中该第二区域中晶体管的N阱或是P阱具有该原始掺杂浓度。
8.根据权利要求7所述的半导体结构,其中该第二区域是对应至该集成电路中的信号输出端。
9.根据权利要求6所述的半导体结构,其中该区域中晶体管的临界电压是位于1.5~2.5伏特之间。
10.根据权利要求6所述的半导体结构,其中该集成电路为液晶显示器的驱动电路或是有机发光二极管显示器的驱动电路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造